W każdym większym zakładzie produkującym półprzewodniki surowce i chemikalia są kupowane ze źródeł zewnętrznych. Może to prowadzić do dużego problemu z jakością, jeśli przychodzące materiały nie spełniają standardów jakości Twojego zakładu. Po prostu surowce niskiej jakości doprowadzą do powstania słabych układów scalonych.
METTLER TOLEDO oferuje szereg urządzeń do kontroli, walidacji i kwalifikacji, które gwarantują, że importowane surowce i chemikalia są wystarczająco wysokiej jakości, aby spełnić wymagania specyfikacji i jakości produktu końcowego.
Tworzenie półprzewodnika zaczyna się od surowego krzemu, który musi zostać poddany rafinacji, aby uzyskać ultraczystą, monokrystaliczną formę niezbędną do produkcji półprzewodników. Zakłady produkcyjne rozpoczynają od oczyszczenia surowego krzemu w celu usunięcia wszelkich zanieczyszczeń przed jego stopieniem. Ma to zasadnicze znaczenie dla zapewnienia wydajności i niezawodności końcowego półprzewodnika. Proces wzrostu kryształów pozwala atomom krzemu przegrupować się w strukturę monokrystaliczną podczas krzepnięcia, tworząc końcową dużą cylindryczną sztabkę krzemu. Podczas wzrostu kryształów dodawane są określone zanieczyszczenia lub domieszki w celu modyfikacji właściwości elektrycznych kryształu i wytworzenia półprzewodników typu p lub n. Na koniec wyhodowany wlewek krzemu poddawany jest wyżarzaniu, obróbce cieplnej, która usuwa naprężenia i defekty w strukturze krystalicznej, zapewniając jednorodność i jakość.
Proces ingot-pulling odbywa się w zamkniętym i odizolowanym piecu i wymaga kilku dni na zakończenie. Dlatego zapewnienie procesu opracowywania wlewków ma kluczowe znaczenie dla poprawy wydajności produktu. Ultraniskoprofilowe wagi podłogowe METTLER TOLEDO można umieścić pod piecem i zapewniają informacje o zmianie masy w czasie rzeczywistym, zapewniając ciągłość procesu.
Po wyrośnięciu sztabki krzemu następnym krytycznym krokiem jest pocięcie jej na cienkie płytki. Wafle te służą jako podłoże dla układów scalonych. Wlewki są najpierw przycinane w celu usunięcia nierówności i stworzenia płaskiej powierzchni, a następnie cięte na cienkie wafle za pomocą pił diamentowych lub pił linowych. Zazwyczaj wafle są cięte na grubość od 200 do 300 mikrometrów. Zgrubnie pocięte wafle są dokładnie czyszczone w celu usunięcia wszelkich zanieczyszczeń, które osadzały się w procesie cięcia.
Zakłady produkujące płytki krzemowe i zakłady produkujące chipy często wykorzystują w ramach procesów wiele różnych związków, chemikaliów, gazów i surowców. Kiedy chemikalia dostają się do zakładów, zazwyczaj ważony jest cały pojazd dostawczy. To daje dane o tym, ile materiału przyjeżdża, ale nie stanowi informacji o czystości ani składzie materiałów.
Jednak ta szybka kontrola pozwoli Ci uniknąć problemów związanych z niedostateczną lub nadmierną dostawą surowców. Szybkie ważenie pojazdów pomoże Ci przewidzieć problemy produkcyjne, które mogą być spowodowane zbyt małą ilością surowca w magazynie.
Po rozładowaniu i przywiezieniu kontenerów do zakładu można je sprawdzić pod kątem jakości przed użyciem w produkcji półprzewodników.
Czujniki wagowe i wagi podłogowe METTLER TOLEDO umożliwiają uzyskanie dokładnych pomiarów materiałów przed ich użyciem w zakładzie. Daje to również możliwość inżynierii wstecznej kombinacji substancji chemicznych obecnych w związku. Wagi laboratoryjne i przyrządy analityczne METTLER TOLEDO umożliwiają kontrolę jakości surowców.
Skuteczność polerowania zależy od procesu utleniania zachodzącego na płytce krzemowej. Można użyć różnych technik, takich jak miareczkowanie, aby określić stężenie H2O2 w roztworze, który wytwarza zawiesinę. Alternatywnie, pomiar gęstości lub indeksu refrakcji zapewnia szybką, prostą i bezpieczną analizę.
Przychodzące chemikalia, takie jak silan, tlen i podtlenek azotu, są używane podczas procesu chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD). Argon jest później używany do usuwania zanieczyszczeń. Wszystkie te gazy wymagają niesamowitej jakości, aby miały odpowiedni wpływ na Twoje płytki.
Fotolitografia zwykle wykorzystuje chemikalia fotorezystu, roztwory wywoływacza (takie jak TMAH), powłoki antyrefleksyjne i rozpuszczalniki pochodzące od zewnętrznych dostawców. Jakość rozpuszczalników, takich jak IPA lub aceton, jest zazwyczaj trywialna i nie ma dużego wpływu na proces. Jednak chemikalia fotorezystowe określą jakość procesu fotolitografii.
Produkcja fotorezystu to złożone zadanie, które łączy w sobie precyzyjną formułę chemiczną, ścisłą kontrolę jakości i doskonałe rzemiosło. Dokładne wykonanie każdego kroku ma kluczowe znaczenie.
Zapewnienie dokładnej masy fotorezystorów w każdym pojemniku podczas procesu napełniania ma zasadnicze znaczenie i wpływa nie tylko na spójność jakości produktu, ale także na efektywność ekonomiczną i reputację rynkową firmy.
W tym krytycznym procesie przemysłowa technologia ważenia staje się kamieniem węgielnym jakości fotorezystu, zwłaszcza w dokładnym pomiarze surowców, precyzyjnej kontroli składników, dokładnym napełnianiu i końcowej kontroli jakości produktów.
Słabe surowe chemikalia doprowadzą do nierównych powłok i nieprzyspieszonej litografii. Stabilność chemiczna i czułość materiałów fotorezystu są często powiązane z pH roztworu, które można skutecznie mierzyć za pomocą pH-metrów i czujników METTLER TOLEDO.
Operacje trawienia usuwają określone materiały lub obszary z wafla. Odbywa się to za pomocą chloru, bromowodoru, tlenu, gazów na bazie fluoru (trawienie na sucho) lub specyficznych dla firmy formuł chemicznych (trawienie na mokro). Chemikalia, pozyskiwane zewnętrznie, mogą mieć ogromne różnice w jakości i składzie chemicznym, co z kolei wpłynie na jakość procesu trawienia.
Zapewnienie dokładnego przygotowania kwasów w zakładach dostawców prowadzi do uzyskania niezmiennie wysokiej jakości materiałów, które są niezbędne do osiągnięcia niezawodnych i precyzyjnych procesów trawienia. Korzystając z zaawansowanych rozwiązań wagowych, producenci zwiększają niezawodność produkcji, usprawniają operacje i wspierają zaangażowanie w zrównoważone praktyki, co ostatecznie prowadzi do lepszego zarządzania zasobami i oszczędności kosztów w czasie.
pH roztworów chemicznych stosowanych podczas procesu trawienia można skutecznie mierzyć za pomocą czujników pH METTLER TOLEDO inline i offline , natomiast stężenie wytrawiacza i różnych cząsteczek powstających w procesie można określić za pomocą naszych roztworów do titratora.
W operacjach usuwania izolacji prawdopodobnie użyjesz plazmy tlenowej, kwasu siarkowego, nadtlenku wodoru, NMP lub dimetylosulfotlenku. Wszystkie te rozpuszczalniki są używane do strategicznego i specyficznego usuwania części fotorezystu z płytki krzemowej. Jakość chemikaliów będzie zatem miała wpływ na jakość procesu usuwania i może być monitorowana za pomocą pomiarów gęstości i refraktometrii.
Konieczne jest ścisłe monitorowanie jakości roztworu myjącego, ponieważ wszelkie zanieczyszczenia na powierzchni płytki krzemowej mogą negatywnie wpływać na kolejne etapy przetwarzania i pogarszać jakość produktu końcowego. Precyzyjne monitorowanie in-situ zapewnia wgląd w stan wanny w czasie rzeczywistym, umożliwiając jej terminowe uzupełnianie, co może być bardzo opłacalne dla całego procesu produkcyjnego. Nasze sondy ReactIR i ReactRaman™ oferują łatwy i skuteczny sposób śledzenia składu kąpieli czyszczących lub myjących, zapewniając optymalną jakość w trakcie całej produkcji.
Konieczne jest również sprawdzenie stężenia nadtlenku wodoru (H₂O₂) lub kwasu siarkowego (H₂SO₄) w roztworach czyszczących. Spektrofotometria UV/VIS zapewnia, że roztwory te mieszczą się w odpowiednim zakresie stężeń dla skutecznego czyszczenia płytek.
Z naszą pomocą możesz mieć lepszy wgląd w ilość, jakość i skład swoich surowców.
Czujniki wagowe i wagi podłogowe: Zapewniają dokładne pomiary materiałów sypkich, aby uniknąć problemów z niedostatecznym lub nadmiernym transportem.
Wagi precyzyjne: Zapewniają dokładne ważenie przychodzących surowców w celu precyzyjnej kontroli i zapewnienia jakości.
Wagi analityczne MS/ML: Zapewniają precyzyjny pomiar substancji chemicznych, co ma kluczowe znaczenie dla utrzymania czystości i konsystencji wlewka silikonowego.
Wagi: Zapewniają dokładne ważenie przychodzących surowców w celu precyzyjnej kontroli i zapewnienia jakości. Zapewnij precyzyjny pomiar substancji chemicznych, co ma kluczowe znaczenie dla utrzymania czystości i konsystencji wlewka silikonowego. Zapewnij precyzyjne ważenie płytki. Sprawdź gęstość i czystość krzemu i innych surowców stałych, aby utrzymać wysokie standardy jakości.
Gęstościomierze: Mierzą gęstość i czystość roztworów chemicznych w celu utrzymania wysokich standardów jakości.
Temperatura topnienia (wrzenia): Badają czystość rozpuszczalników użytych w procesie.
Przyrządy do analizy termicznej: Analizują właściwości termiczne materiałów, aby upewnić się, że spełniają one specyfikacje.
Wagosuszarki: Określają zawartości wilgoci w surowcach w celu zapobiegania zanieczyszczeniu.
Titratory: Precyzyjnie mierzą stężenie substancji chemicznych stosowanych w różnych procesach.
Czujniki i mierniki pH: Monitorują i kontrolują poziom pH w roztworach chemicznych stosowanych w całym procesie. Precyzyjna kontrola pH ma kluczowe znaczenie dla skutecznego wytrawiania, czyszczenia lub domieszkowania wiórów.
Spektrofotometr UV/Vis: Dają pewność, że surowce i chemikalia spełniają wysokie standardy czystości, które mają kluczowe znaczenie dla procesów produkcji półprzewodników. Zidentyfikuj konkretne zanieczyszczenia na podstawie ich charakterystyki absorbancji.
Wykorzystując zaawansowany sprzęt analityczny METTLER TOLEDO, dział produkcji półprzewodników może zapewnić najwyższą jakość przychodzących surowców, co prowadzi do uzyskania doskonałych produktów końcowych.
Odkryj najnowocześniejsze instrumenty zaprojektowane z myślą o postępach badawczo-rozwojowych w dziedzinie półprzewodników, zapewniające precyzję, niezawodność i innowacyjność w opracowywaniu materiałów i urządzeń.
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "Sonda pH in-line / sonda ORP (Redoks)")
Wiemy, że precyzja i niezawodność są niezbędne w Twojej pracy i zapewniamy, że nasze rozwiązania są zaprojektowane tak, aby wspierać Cię na każdym kroku. Nasz zespół dokłada wszelkich starań, aby Twoje urządzenia działały bez zarzutu, dzięki czemu możesz skupić się na tym, co najważniejsze — osiąganiu przełomowych wyników. Pracujmy razem, aby napędzać innowacje w dziedzinie półprzewodników.
