Kretsloppet för processvatten vid halvledartillverkning börjar med att råvatten (1) förs till anläggningen, där det genomgår förbehandling (2), sammansättning och polering (3). När den är polerad distribueras UPW till tillverkningsanläggningen (4 - Fab), där den används i flera verktyg och processer, såsom rengöring, etsning och kemisk-mekanisk planarisering (CMP). Efter användning återvinns vattnet ofta (5) för återvinning inom UPW-kretsen, används i andra tillämpningar som pannor och skrubbar (11), eller behandlas som avfall (6) baserat på dess föroreningsnivåer.
Organiska föroreningar i ultrarent vatten övervakas ofta i halvledarfabriker. UV/Vis-spektrofotometri kan upptäcka organiska föreningar genom att mäta deras absorption vid specifika våglängder, vilket säkerställer att vattnet uppfyller höga renhetskrav.
pH- och ledningsförmågasmätningar är nyckelparametrar som påverkar framgången för utfällningssteget vid avloppsrening. En av teknikerna för att analysera koncentrationen av tungmetaller är att mäta absorptionen av specifika metalljonkomplex vid en lämplig våglängd. Att kontrollera koncentrationsnivåerna av tungmetaller säkerställer att avloppsreningsprocesserna är effektiva och följer miljöreglerna.
Halvledarindustrin fokuserar alltmer på att minska sitt vattenavtryck. Lagstiftning i olika regioner kräver höga nivåer av återanvändning och återvinning av vatten, ofta upp till 90 %. Effektiv segregation och behandling av avfallsströmmar, såsom att neutralisera fluorväte och omvandla ammoniak för säker utsläpp, är avgörande steg i denna process.
Effektiv hantering av kretsloppet för processvatten inom halvledartillverkning handlar inte bara om att säkerställa högsta kvalitet på UPW utan också om att upprätthålla miljöansvar. Genom att använda avancerad sensorteknologi och följa rigorösa övervaknings- och underhållsprotokoll kan halvledaranläggningar optimera sin vattenanvändning, säkerställa efterlevnad av regulatoriska standarder och bidra till miljömässig hållbarhet.
METTLER TOLEDO Thornton tillhandahåller en omfattande portfölj av sensorer och analysatorer, inklusive pH, ledningsförmåga, resistivitet, TOC, löst syre, mikrobiell detektion och kiseldioxidsensorer. Dessa instrument är avgörande för att upprätthålla UPW av högsta kvalitet. Intelligent Sensor Management (ISM)-teknik erbjuder prediktiv diagnostik, adaptiv kalibrering och underhållsvarningar, vilket förbättrar operativ effektivitet och minskar driftstopp.
Offline-vattenanalyser som utförs punktligt hjälper till att verifiera noggrannheten hos det onlinebaserade övervakningssystemet, med tillämpningar för bänkinstrument såsom densitet, brytningsindex, pH, ledningsförmåga, joner och löst syre (DO), titrering och UV/Vis-mätningar.
Vi förstår att precision och pålitlighet är avgörande i ditt arbete, och våra lösningar är utformade för att stödja dig i varje steg på vägen. Vårt team är dedikerat till att hålla din utrustning igång smidigt så att du kan fokusera på det som är viktigast – att uppnå banbrytande resultat. Låt oss arbeta tillsammans för att stärka dina insatser och driva innovation inom halvledarområdet.
