Rent vattens neutrala molekyler är mycket dåliga ledare, men när jonerna löser sig i det minskar resistiviteten. Detta beror på att jonerna fungerar som rörliga laddningsbärare som kan föra elektroner genom vattnet. Därför är resistivitetsmätning en av de viktigaste analyserna för att säkerställa UPW-kvalitet vid wafertillverkning och spelar en avgörande roll i följande processsteg:

icon

Epitaxi

Vatten med hög resistivitet är avgörande här för att säkerställa att föroreningar inte införlivas i epitaksiella lager. Förorenat vatten kan förändra de elektriska egenskaperna och den strukturella integriteten hos den epitaktiska filmen.

icon

Fotolitografi

Resistivitet är avgörande i detta steg, eftersom ultrarent vatten används för att skölja wafers efter applicering och framkallning av fotoresist. Vatten med låg resistivitet förhindrar jonföroreningar som kan orsaka defekter eller mönsterförvrängningar.

icon

Etsning och avskalaning

Båda stegen kräver ultrarent vatten för att skölja wafer för att ta bort kemiska rester. Övervakning av resistivitet säkerställer att vattnet som används är fritt från föroreningar som kan påverka etsprofiler eller lämna rester.

icon

Kemisk mekanisk planarisering (CMP)

Slurry- och sköljvattnet i CMP måste vara ultrarent med hög resistivitet för att undvika partikelkontaminering och joniska föroreningar som kan orsaka repor eller defekter på skiveytan.

Ingen enskild mätning fångar hela bilden av ultrapuret vattenkvalitet. Resistivitet fungerar tillsammans med flera andra onlineparametrar för att säkerställa processintegritet.

Välj en parameter att utforska:

Measure resistivity

Resistivity Measurement with Digital Sensors

Case Study on North American Semiconductor Fabrication Plant

image

Total Organic Carbon-övervakning i halvledartillverkning för förbättrad chipavkastning

Förstå påverkan av spår av organiskt kol i enhetstillverkning

Konduktivitetssensorer förklarade

Konduktivitetssensorer förklarade

Från två-elektrod till induktiva sensorer: Förstå typerna av konduktivitetssensorer, hur de fungerar och deras tillämpningar

Jag vill...
Behöver du hjälp?
Vi finns här för att svara på dina frågor.