Chu trình nước trong sản xuất chất bán dẫn bắt đầu với nước thô (1) được đưa đến cơ sở, nơi nó trải qua các giai đoạn tiền xử lý (2), bổ sung và làm sạch (3). Sau khi được làm sạch, UPW được phân phối đến nhà máy chế tạo (4 - Fab), nơi nó được sử dụng trong các công cụ và quy trình khác nhau, chẳng hạn như làm sạch, khắc và phẳng hóa cơ học hóa học (CMP). Sau khi sử dụng, nước thường được thu hồi (5) để tái chế trong vòng tuần hoàn UPW, được sử dụng trong các ứng dụng khác như nồi hơi và thiết bị lọc (11) hoặc được xử lý như chất thải (6) dựa trên mức độ ô nhiễm của nó.
Các chất gây ô nhiễm hữu cơ trong nước siêu tinh khiết thường được theo dõi trong các nhà máy bán dẫn. Phép đo quang phổ UV/Vis có thể phát hiện các hợp chất hữu cơ bằng cách đo độ hấp thụ của chúng ở các bước sóng cụ thể, đảm bảo nước đáp ứng các tiêu chuẩn có độ tinh khiết cao.
Đo pH và độ dẫn điện là những thông số quan trọng ảnh hưởng đến sự thành công của bước kết tủa trong xử lý nước thải. Một trong những kỹ thuật để phân tích nồng độ kim loại nặng là đo độ hấp thụ của các phức ion kim loại cụ thể ở bước sóng phù hợp. Kiểm soát nồng độ kim loại nặng đảm bảo rằng các quy trình xử lý nước thải hiệu quả và tuân thủ các quy định về môi trường.
Ngành công nghiệp bán dẫn ngày càng tập trung vào việc giảm thiểu lượng nước tiêu thụ. Luật pháp ở các khu vực khác nhau quy định mức độ tái sử dụng và cải tạo nước cao, thường lên đến 90%. Phân loại và xử lý hiệu quả các dòng chất thải, chẳng hạn như trung hòa axit flohydric và chuyển đổi amoniac để xả thải an toàn, là những bước quan trọng trong quá trình này.
Quản lý chu trình nước hiệu quả trong sản xuất chất bán dẫn không chỉ là đảm bảo chất lượng cao nhất của UPW mà còn là duy trì trách nhiệm với môi trường. Bằng cách sử dụng công nghệ cảm biến tiên tiến và tuân thủ các quy trình giám sát và bảo trì nghiêm ngặt, các nhà máy sản xuất chất bán dẫn có thể tối ưu hóa việc sử dụng nước, đảm bảo tuân thủ các tiêu chuẩn quy định và đóng góp vào sự bền vững của môi trường.
METTLER TOLEDO Thornton cung cấp danh mục cảm biến và phân tích toàn diện, bao gồm cảm biến pH, độ dẫn điện, điện trở suất, TOC, oxy hòa tan, phát hiện vi sinh vật và silica. Các thiết bị này không thể thiếu trong việc duy trì UPW chất lượng cao nhất. Công nghệ Quản lý cảm biến thông minh (ISM) cung cấp chẩn đoán dự đoán, hiệu chuẩn thích ứng và cảnh báo bảo trì, nâng cao hiệu quả hoạt động và giảm thời gian ngừng hoạt động.
Các phân tích nước ngoại tuyến được thực hiện đúng giờ giúp xác minh độ chính xác của hệ thống giám sát trực tuyến, với các ứng dụng cho các thiết bị để bàn như tỷ trọng, chỉ số khúc xạ, pH, độ dẫn điện, ion và oxy hòa tan (DO), chuẩn độ và UV/Vis.
Chúng tôi hiểu rằng độ chính xác và độ tin cậy là điều cần thiết trong công việc của bạn, và các giải pháp của chúng tôi được thiết kế để hỗ trợ bạn từng bước. Đội ngũ của chúng tôi tận tâm đảm bảo cho thiết bị của bạn hoạt động trơn tru để bạn có thể tập trung vào những gì quan trọng nhất — đạt được kết quả đột phá. Hãy cùng nhau hợp tác để nâng cao hiệu quả công việc và thúc đẩy sự đổi mới trong lĩnh vực bán dẫn.
