Tiếng Việt

Các phân tử trung tính của nước tinh khiết là chất dẫn điện rất kém, nhưng một khi các ion hòa tan trong đó, điện trở suất sẽ giảm xuống. Điều này là do các ion hoạt động như các chất mang điện tích di động có thể mang các electron qua nước. Do đó, phép đo điện trở suất là một trong những phân tích quan trọng để đảm bảo chất lượng UPW trong sản xuất tấm wafer và đóng một vai trò quan trọng trong các bước quy trình sau:

icon

Biểu sinh

Nước có độ tinh khiết cao với điện trở suất cao là điều cần thiết ở đây để đảm bảo rằng các tạp chất không kết hợp vào các lớp biểu mô. Nước bị ô nhiễm có thể làm thay đổi tính chất điện và tính toàn vẹn cấu trúc của màng biểu mô.

icon

Quang khắc

Điện trở suất là rất quan trọng trong bước này, vì nước siêu tinh khiết được sử dụng để rửa các tấm wafer sau khi ứng dụng và phát triển chất cản quang. Nước có điện trở suất thấp ngăn ngừa ô nhiễm ion có thể gây ra khuyết tật hoặc biến dạng mẫu.

icon

Khắc và tước

Cả hai bước đều yêu cầu nước siêu tinh khiết để rửa tấm wafer nhằm loại bỏ dư lượng hóa chất. Giám sát điện trở suất đảm bảo rằng nước được sử dụng không có chất gây ô nhiễm có thể ảnh hưởng đến cấu hình ăn mòn hoặc để lại cặn.

icon

Planarization cơ học hóa học (CMP)

Bùn và nước rửa trong CMP phải siêu tinh khiết với điện trở suất cao để tránh nhiễm bẩn hạt và tạp chất ion có thể gây trầy xước hoặc khuyết tật trên bề mặt tấm wafer.

Không có phép đo nào duy nhất có thể phản ánh đầy đủ chất lượng nước siêu tinh khiết. Điện trở suất hoạt động cùng với một số thông số trực tuyến khác để đảm bảo tính toàn vẹn của quy trình.

Chọn một tham số để khám phá:

Measure resistivity

Resistivity Measurement with Digital Sensors

Case Study on North American Semiconductor Fabrication Plant

image

Giám Sát Tổng Carbon Hữu Cơ Trong Sản Xuất Chất Bán Dẫn Để Nâng Cao Năng Suất Chip

Hiểu Về Tác Động Của Carbon Hữu Cơ Dấu Vết Trong Sản Xuất Thiết Bị

Giải thích về cảm biến độ dẫn điện

Giải thích về cảm biến độ dẫn điện

Từ cảm biến hai điện cực đến cảm biến cảm ứng: Hiểu các loại cảm biến độ dẫn điện, cách thức hoạt động và ứng dụng của chúng

Tôi muốn…
Bạn cần hỗ trợ?
Đội ngũ của Chúng tôi luôn sẵn sàng.