Vodní cyklus ve výrobě polovodičů začíná přiváděním surové vody (1) do zařízení, kde prochází předúpravou (2), doplňováním a leštěním (3) fází. Po vyleštění je UPW distribuován do výrobní továrny (4 - Fab), kde se používá v různých nástrojích a procesech, jako je čištění, leptání a chemicko-mechanická planarizace (CMP). Po použití je voda často recyklována (5) pro recyklaci v rámci okruhu UPW, používá se v jiných aplikacích, jako jsou kotle a čističe (11), nebo je zpracovávána jako odpad (6) na základě úrovně kontaminace.
Organické kontaminanty v ultračisté vodě jsou běžně monitorovány v polovodičových továrnách. UV/Vis spektrofotometrie dokáže detekovat organické sloučeniny měřením jejich absorbance na specifických vlnových délkách, čímž zajišťuje, že voda splňuje vysoké standardy čistoty.
Měření pH a vodivosti jsou klíčové parametry, které ovlivňují úspěšnost srážkového kroku při čištění odpadních vod. Jednou z technik analýzy koncentrace těžkých kovů je měření absorbance specifických kovových iontových komplexů při vhodné vlnové délce. Kontrola koncentrací těžkých kovů zajišťuje, že procesy čištění odpadních vod jsou efektivní a v souladu s environmentálními předpisy.
Polovodičový průmysl se stále více zaměřuje na snižování své vodní stopy. Legislativa v různých regionech vyžaduje vysoké úrovně opětovného využívání a rekultivace vody, často až 90 %.
Efektivní segregace a zpracování odpadních toků, jako je neutralizace kyseliny fluorovodíkové a přeměna amoniaku pro bezpečné vypouštění, jsou klíčovými kroky v tomto procesu.
Efektivní řízení vodního cyklu ve výrobě polovodičů není jen o zajištění nejvyšší kvality UPW, ale také o udržení environmentální odpovědnosti. Díky využití pokročilé senzorové technologie a dodržování přísných monitorovacích a údržbových protokolů mohou polovodičová zařízení optimalizovat využití vody, zajistit dodržování regulačních norem a přispět k environmentální udržitelnosti.
METTLER TOLEDO Thornton nabízí komplexní portfolio senzorů a analyzátorů, včetně pH, vodivosti, rezistivity, TOC, rozpuštěného kyslíku, mikrobiální detekce a senzorů pro křemík. Tyto přístroje jsou klíčové pro udržení nejvyšší kvality UPW. Technologie inteligentního řízení senzorů (ISM) nabízí prediktivní diagnostiku, adaptivní kalibraci a údržbová upozornění, čímž zvyšuje provozní efektivitu a snižuje prostoje.
Offline analýzy vody prováděné přesně pomáhají ověřit přesnost online monitorovacího systému, s aplikacemi pro stolní přístroje, jako jsou hustota, index lomu, pH, vodivost, ionty a rozpuštěný kyslík (DO), titrace a měření UV/Vis.
Chápeme, že přesnost a spolehlivost jsou ve vaší práci zásadní, a naše řešení jsou navržena tak, aby vás podporovala v každém kroku. Náš tým je odhodlaný udržet vaše zařízení v bezproblémovém chodu, abyste se mohli soustředit na to, co je nejdůležitější – dosahovat průlomových výsledků. Pojďme společně pracovat na posílení vašich aktivit a podpoře inovací v polovodičovém průmyslu.
