Vodný cyklus vo výrobe polovodičov začína privádzaním surovej vody (1) do zariadenia, kde prechádza predúpravou (2), doplňovaním a leštením (3) fázami. Po vyleštení sa UPW distribuuje do výrobného závodu (4 - Fab), kde sa používa v rôznych nástrojoch a procesoch, ako je čistenie, leptanie a chemicko-mechanická planarizácia (CMP). Po použití sa voda často recykluje (5) na recykláciu v rámci okruhu UPW, používa sa v iných aplikáciách, ako sú kotly a čistiace zariadenia (11), alebo sa spracováva ako odpad (6) na základe jej úrovne kontaminácie.
Organické kontaminanty v ultračistej vode sa bežne monitorujú v polovodičových továrňach. UV/Vis spektrofotometria dokáže detegovať organické zlúčeniny meraním ich absorbancie pri špecifických vlnových dĺžkach, čím zabezpečuje, že voda spĺňa štandardy vysokej čistoty.
Merania pH a vodivosti sú kľúčové parametre, ktoré ovplyvňujú úspešnosť kroku zrážania pri čistení odpadových vôd. Jednou z techník na analýzu koncentrácie ťažkých kovov je meranie absorbancie špecifických kovových iónových komplexov pri vhodnej vlnovej dĺžke. Kontrola koncentrácie ťažkých kovov zabezpečuje, že procesy čistenia odpadových vôd sú efektívne a v súlade s environmentálnymi predpismi.
Polovodičový priemysel sa čoraz viac zameriava na znižovanie svojej vodnej stopy. Legislatíva v rôznych regiónoch vyžaduje vysokú mieru opätovného využívania a rekultivácie vody, často až do 90 %. Účinná segregácia a spracovanie odpadových tokov, ako je neutralizácia kyseliny fluorovodíkovej a premena amoniaku na bezpečné vypúšťanie, sú kľúčovými krokmi v tomto procese.
Efektívne riadenie vodného cyklu vo výrobe polovodičov nie je len o zabezpečení najvyššej kvality UPW, ale aj o udržiavaní environmentálnej zodpovednosti. Využitím pokročilej technológie senzorov a dodržiavaním prísnych monitorovacích a údržbových protokolov môžu polovodičové zariadenia optimalizovať spotrebu vody, zabezpečiť súlad s regulačnými normami a prispieť k environmentálnej udržateľnosti.
METTLER TOLEDO Thornton poskytuje komplexné portfólio senzorov a analyzátorov, vrátane pH, vodivosti, rezistivity, TOC, rozpusteného kyslíka, mikrobiálnej detekcie a senzorov na kremík. Tieto prístroje sú kľúčové pre udržiavanie najvyššej kvality UPW. Technológia inteligentného riadenia senzorov (ISM) ponúka prediktívnu diagnostiku, adaptívnu kalibráciu a upozornenia na údržbu, čím zvyšuje prevádzkovú efektivitu a znižuje prestoje.
Offline analýzy vody, vykonávané načas, pomáhajú overiť presnosť online monitorovacieho systému, s aplikáciami pre stolné prístroje ako hustota, index lomu, pH, vodivosť, ióny a rozpustený kyslík (DO), titrácia a merania UV/vis.
Chápeme, že presnosť a spoľahlivosť sú vo vašej práci nevyhnutné, a naše riešenia sú navrhnuté tak, aby vás podporovali na každom kroku. Náš tím je odhodlaný udržiavať vaše zariadenia v plynulom chode, aby ste sa mohli sústrediť na to najdôležitejšie – dosahovať prelomové výsledky. Poďme spolupracovať, aby sme posilnili vaše úsilie a podporili inovácie v oblasti polovodičov.
