Monitorowanie wody ultraczystej w przemyśle mikroelektronicznym
Opracowania techniczne

Monitorowanie wody ultraczystej w przemyśle mikroelektronicznym

Opracowania techniczne

Pomiar rezystywności wody ultraczystej i TOC

Kontrola wody ultraczystej i procesów przemysłowych w branży półprzewodników
Kontrola wody ultraczystej i procesów przemysłowych w branży półprzewodników

Branża półprzewodników szybko się rozwija i zwiększa zapotrzebowanie na zagęszczenie układów scalonych na płytce i mniejszą szerokość linii w nanometrach jednocyfrowych. Aby sprostać tym wyzwaniom, należy wprowadzić monitorowanie i kontrolę wody ultraczystej w celu wykrywania zanieczyszczeń jonowych, które mogłyby mieć negatywny wpływ na działanie płytek. Są dwa krytyczne parametry, które wymagają monitorowania on-line w czasie rzeczywistym, aby zapewnić czystość wody: całkowita zawartość węgla organicznego (TOC) i rezystywność. Możliwość dokładnego pomiaru tych parametrów na poziomie pojedynczych ppb w instalacjach wody ultraczystej umożliwia producentom półprzewodników poprawę jakości produktu i maksymalizację wydajności.

Modele 6000TOCi i M800 zapewniają przemysłowi mikroelektronicznemu najbardziej zaawansowane narzędzie spełniające wymagania w zakresie ciągłego pomiaru on-line i kontroli procesu wymagane w instalacjach wody ultraczystej. System METTLER TOLEDO TOC zapewnia najniższy koszt w przeliczeniu na punkt pomiarowy z najszybszą reakcją, zaawansowaną, zintegrowaną diagnostyką i wykrywaniem na poziomie pojedynczych ppb.

Czujnik UPW UniCond 6000TOCi i przetwornik M800 to najlepsze inwestycje, które zmniejszą ryzyko i poprawią wydajności przemysłu mikroelektronicznego.

W opracowaniu omówiono następujące tematy:

  • Znaczenie pomiaru rezystywności i TOC on-line
  • Woda ultraczysta w produkcji półprzewodników
  • Monitorowanie w czasie rzeczywistym oporu właściwego i TOC

Idealne rozwiązania METTLER TOLEDO dla przemysłu mikroelektronicznego to czujnik 6000TOCi, czujnik UPW UniCond i przetworniki M800.

6000TOCi jest czujnikiem TOC on-line, który dostarcza dane w czasie rzeczywistym i oferuje diagnostykę zapobiegawczą. Czujnik mierzy co sekundę, umożliwiając ciągłą analizę TOC w instalacji wodnej. Model 6000TOCi jest idealny do wszystkich zastosowań związanych z wodą czystą, gdzie szybkie wykrywanie zmian poziomu TOC ma kluczowe znaczenie, a czujnik umożliwia rejestrację pełnej historii i kluczowych statystyk.

Czujnik UPW UniCond firmy METTLER TOLEDO oferuje wysoką powtarzalność pomiaru. Czujnik UPW UniCond jest wyposażony w technologia zarządzania inteligentnymi czujnikami pomiarowymi (ISM). Czujniki ISM oferują lepszą wydajność w porównaniu z sondami analogowymi z wielu powodów, m.in. dzięki wbudowanemu mikroprocesorowi, który przetwarza sygnał analogowy z czujnika na rzeczywisty pomiar parametru.

Uzupełnieniem tego systemu pomiarowego jest przetwornik M800 firmy METTLER TOLEDO. Jest to przetwornik wieloparametrowy, który oferuje elastyczną instalację i uproszczone pomiary kontrolne procesu. Może jednocześnie monitorować jeden, dwa lub cztery czujniki liniowe.

Thank you for visiting www.mt.com. We have tried to optimize your experience while on the site, but we noticed that you are using an older version of a web browser. We would like to let you know that some features on the site may not be available or may not work as nicely as they would on a newer browser version. If you would like to take full advantage of the site, please update your web browser to help improve your experience while browsing www.mt.com.