 |
Tento popis aplikácie rieši význam spoľahlivej analýzy celkového organického uhlíka (TOC) v reálnom čase v systémoch s ultračistou vodou (UPW) pri výrobe polovodičov. Ultračistá voda patrí k najžieravejším a najagresívnejším rozpúšťadlám používaným pri čistení a výrobe článkov v rámci výroby mikroelektroniky. Za posledné štyri desaťročia sa v odvetví elektroniky mimoriadne rýchlo zvýšil počet obvodov, ktoré sa leptajú do silikónových čipov. Takéto zvýšenie počtu obvodov výrazne znížil šírku liniek, v dôsledku toho sa výrazne zvýšili aj požiadavky na presné a priebežné meranie TOC v systémoch s ultračistou vodou.
Procesy pri výrobe polovodičov majú jedny z tých najprísnejších špecifikácií na iónovú a organickú kontamináciu v systémoch čistej a ultračistej vody. Meranie TOC vo vode používanej na výrobu polovodičov výrobcom umožnilo zlepšovať kvalitu výrobkov a maximalizovať výnosy. Technologický pokrok v oblasti čistenia vody a inovácie v oblasti automatizácie monitorovania týchto kontaminantov zohrávali výraznú úlohu v rámci zlepšovania a merania kvality ultračistej vody. Tento pokrok zas umožnil sprísňovanie špecifikácií pre všetky úrovne kontaminantov v systémoch UPW.
Analýza celkového organického uhlíka (TOC) v ultračistej vode používanej pri výrobe polovodičov je účinný spôsob monitorovania organických kontaminantov v ultračistej vode a stavu systémov UPW používaných v odvetví mikroelektroniky. Organické látky predstavujú zdroj potravy pre baktérie, ktoré sa môžu vyskytovať v distribučnom systéme, skladovacích nádržiach a spracovateľských technológiách alebo moduloch na úpravu vody. Presné, rýchle a pohodlné merania úrovne organických látok v systéme UPW môžu ušetriť milióny dolárov tak, že zabránia strate výrobkov.
Senzor 6000TOCi a prevodník M800 poskytujú potrebný výkon, ktorý spĺňa tieto požiadavky, a prinášajú aj ďalšie výhody vo forme priebežných meraní na linke prostredníctvom priemyselného balíka s nízkou potrebou údržby s osvedčenou viacparametrovou technológiou. Senzor 6000TOCi sa prepája priamo s prevodníkom M800, čo poskytuje ďalšiu schopnosť parametra merania. Senzor 6000TOCi s prevodníkom M800 je vybavený systémom inteligentnej správy senzorov (ISM) spoločnosti METTLER TOLEDO. Pokročilá diagnostika ISM pomáha zaisťovať nepretržitý optimálny výkon senzora.
Prečítajte si viac o senzore 6000TOCi a prevodníku M800 a zistite, ako sa môžu použiť na analýzu TOC v UPW, v popise aplikácie na adrese nižšie:
- Senzor 6000TOCi – Vysokovýkonný senzor celkového organického uhlíka, ktorý dokáže monitorovať TOC vo vode používanej pri výrobe polovodičov s meraniami v reálnom čase a stabilnou a presnou analýzou. Efektívny senzor vody s overiteľnou výkonnosťou systému
- Prevodník M800 – Viacparametrový prevodník, ktorý dokáže okrem senzora TOC integrovať ďalšie tri analytické senzory vrátane senzora vodivosti, pH, ORP alebo rozpusteného kyslíka [SST1], ako aj senzor tlaku, úrovne v nádrži alebo dvoch prietokomerov.
- Inteligentná správa senzorov (ISM) – Technológia digitálnych senzorov, ktorá zaisťuje prediktívnu údržbu, jednoduchú správu senzorov a efektívnu výrobu.
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "Prevodníky")
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "pH sonda priamo v linke/ORP sonda (Redox)")
