 |
Jeden z najväčších výrobcov polovodičov v Ázii bojoval s meraním rozpusteného kyslíka. V závode používali nákladný systém, ktorý si po údržbe vyžadoval tri až štyri dni, kým boli výsledky meraní rozpusteného kyslíka natoľko stabilné, aby sa dali využívať.
V zlievárni sa rozhodli posúdiť optické senzory rozpusteného kyslíka a vysielač M800 od METTLER TOLEDO Thornton ako svoje riešenie na meranie rozpusteného kyslíka v systémoch s ultračistou vodou.
Meranie rozpusteného kyslíka bolo v tomto zariadení na výrobu polovodičov veľkou prioritou. Očakávania mali vysoké. Týkali sa mimoriadnej rýchlej reakcie snímačov, nízkych úrovní detekcie a zníženej potreby údržby. Spoločnosť METTLER TOLEDO tieto očakávania vďaka optickému senzoru rozpusteného kyslíka a vysielaču M800 nielenže splnila, ale aj prekonala. Senzory rozpusteného kyslíka s optickou technológiou nevyžadujú polarizáciu, a preto je dostupnosť meracieho systému mimoriadne vysoká. Vysielač M800 ponúka viackanálové, viacparametrové funkcie, ktoré umožňujú spárovanie meraní rozpusteného kyslíka s meraním iných parametrov.
Stiahnite si prípadovú štúdiu a prečítajte si všetky podrobnosti vrátane nasledujúcich tém:
- Prečo je v zlievárni na výrobu polovodičov potrebné merať rozpustený kyslík?
- Výhody vyplývajúce z presnosti a reakčného času
- Dlhodobé šetrenie vďaka optickým meraniam
Rozpustený kyslík sa meria po skončení procesu odplyňovania ultračistej vody, čo slúži na potvrdenie, že došlo k odstráneniu kyslíka z vody. Znížením úrovne rozpusteného kyslíka sa dosahuje nízka vodivosť vody, ktorá je mimoriadne dôležitá pri následných krokoch spracovania, a to najmä pri kontinuálnej elektrodeionizácii. Koncentrácie rozpusteného kyslíka vo využívanej vode počas kapsulového spracovania sa udržiavajú na úrovni menej ako 5 ppb, aby sa zabránilo strate hrúbky oxidu brány. Vyššia úroveň rozpusteného kyslíka vo využívanej vode môže spôsobiť neočakávané leptanie okysličenou vodou, čo má za následok poruchy a nízku výdatnosť pri značných finančných nákladoch.
