Vandkredsløbet i halvlederproduktion begynder med, at råvand (1) føres til fabrikken, hvor det gennemgår forbehandling (2), makeup og polering (3). Når den er poleret, distribueres UPW til fabrikationsanlægget (4 - Fab), hvor den anvendes i flere værktøjer og processer, såsom rengøring, ætsning og kemisk-mekanisk planarisering (CMP). Efter brug genanvendes vandet ofte (5) til genanvendelse inden for UPW-kredsløbet, bruges i andre anvendelser som kedler og skrubbere (11), eller behandles som affald (6) baseret på forureningsniveauet.
Organiske forurenende stoffer i ultrarent vand overvåges ofte i halvlederfabrikker. UV/Vis-spektrofotometri kan opdage organiske forbindelser ved at måle deres absorption ved specifikke bølgelængder, hvilket sikrer, at vandet opfylder høje renhedsstandarder.
pH- og ledningsevnemålinger er nøgleparametre, der påvirker succesen af udfældningstrinnet i spildevandsbehandling. En af teknikkerne til at analysere koncentrationen af tungmetaller er ved at måle absorptionen af specifikke metalionkomplekser ved en passende bølgelængde. Kontrol af koncentrationsniveauerne af tungmetaller sikrer, at spildevandsrensningsprocesserne er effektive og overholder miljøreglerne.
Halvlederindustrien fokuserer i stigende grad på at reducere sit vandaftryk. Lovgivning i forskellige regioner kræver høje niveauer af genbrug og genopretning af vand, ofte op til 90 %. Effektiv adskillelse og behandling af affaldsstrømme, såsom neutralisering af fluoridsyre og omdannelse af ammoniak til sikker udledning, er afgørende trin i denne proces.
Effektiv vandkredsløbsstyring i halvlederproduktion handler ikke kun om at sikre den højeste kvalitet af UPW, men også om at opretholde miljøansvar. Ved at anvende avanceret sensorteknologi og overholde strenge overvågnings- og vedligeholdelsesprotokoller kan halvlederfaciliteter optimere deres vandforbrug, sikre overholdelse af lovgivningsmæssige standarder og bidrage til miljømæssig bæredygtighed.
METTLER TOLEDO Thornton tilbyder en omfattende portefølje af sensorer og analysatorer, herunder pH, ledningsevne, resistivitet, TOC, opløst ilt, mikrobiel detektion og silica-sensorer. Disse instrumenter er afgørende for at opretholde UPW af højeste kvalitet. Intelligent Sensor Management (ISM)-teknologi tilbyder prædiktiv diagnostik, adaptiv kalibrering og vedligeholdelsesadvarsler, hvilket øger driftseffektiviteten og reducerer nedetid.
Offline vandanalyser, der udføres punktligt, hjælper med at verificere nøjagtigheden af det online overvågningssystem, med anvendelser for bordinstrumenter som densitet, brydningsindeks, pH, ledningsevne, ioner og opløst ilt (DO), titrering og UV/Vis-målinger.
Vi forstår, at præcision og pålidelighed er afgørende i dit arbejde, og vores løsninger er designet til at støtte dig hele vejen. Vores team er dedikeret til at holde dit udstyr kørende problemfrit, så du kan fokusere på det, der betyder mest—at opnå banebrydende resultater. Lad os arbejde sammen om at styrke dine bestræbelser og drive innovation inden for halvlederfeltet.
