Rent vands neutrale molekyler er meget dårlige ledere, men når ionerne opløses i det, falder resistiviteten. Dette skyldes, at ionerne fungerer som mobile ladningsbærere, der kan føre elektroner gennem vandet. Derfor er resistivitetsmåling en af de vigtigste analyser til at sikre UPW-kvalitet i wafer-produktion og spiller en afgørende rolle i følgende procestrin:

icon

Epitaksi

Hund med høj renhed og høj resistivitet er afgørende her for at sikre, at urenheder ikke indgår i de epitaksale lag. Forurenet vand kan ændre de elektriske egenskaber og den strukturelle integritet af den epitaksiale film.

icon

Fotolitografi

Resistivitet er afgørende i dette trin, da ultrarent vand bruges til at skylle waffere efter påføring og fremkaldelse af fotoresist. Vand med lav resistivitet forhindrer ionforurening, som kan forårsage defekter eller mønsterforvrængninger.

icon

Ætsning og aftagning

Begge trin kræver ultrarent vand til skylleskiver for at fjerne kemiske rester. Overvågning af resistivitet sikrer, at det anvendte vand er fri for forurenende stoffer, der kan påvirke ætsprofiler eller efterlade rester.

icon

Kemisk Mekanisk Planarisering (CMP)

Slurry- og skyllevandet i CMP skal være ultrarent med høj resistivitet for at undgå partikelforurening og ioniske urenheder, der kan forårsage ridser eller defekter på skivens overflade.

Ingen enkelt måling fanger det fulde billede af ultraprent vandkvalitet. Resistivitet fungerer sammen med flere andre online parametre for at sikre procesintegritet.

Vælg en parameter for at udforske:

Measure resistivity

Resistivity Measurement with Digital Sensors

Case Study on North American Semiconductor Fabrication Plant

image

Total Organic Carbon-overvågning i halvlederfremstilling for forbedret chipudbytte

Forståelse af virkningen af spor af organisk kulstof i enhedsfremstilling

Ledningsevnesensorer forklaret

Ledningsevnesensorer forklaret

Fra to-elektrode til induktive sensorer: Forståelse af typerne af ledningsevnesensorer, hvordan de fungerer, og deres anvendelser

Jeg vil gerne...
Har du brug for hjælp?
Vi er her for at besvare dine spørgsmål.