ในโรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์รายใหญ่ทุกแห่ง วัตถุดิบและสารเคมีจะถูกซื้อจากแหล่งภายนอก สิ่งนี้อาจนําไปสู่ปัญหาด้านคุณภาพครั้งใหญ่หากวัสดุที่เข้ามาไม่เป็นไปตามมาตรฐานคุณภาพของโรงงานของคุณ พูดง่ายๆ ก็คือ วัตถุดิบคุณภาพต่ำจะนําไปสู่ IC ที่ต่ำกว่ามาตรฐาน
METTLER TOLEDO มีอุปกรณ์ตรวจสอบ การตรวจสอบ และการตรวจสอบคุณสมบัติ ซึ่งจะช่วยให้มั่นใจได้ว่าวัตถุดิบและสารเคมีที่เข้ามามีคุณภาพสูงเพียงพอที่จะตอบสนองข้อกําหนดและความต้องการด้านคุณภาพของผลิตภัณฑ์ขั้นสุดท้ายของคุณ
การสร้างเซมิคอนดักเตอร์เริ่มต้นด้วยซิลิกอนดิบที่ต้องผ่านการกลั่นเพื่อให้ได้รูปแบบผลึกเดี่ยวที่บริสุทธิ์เป็นพิเศษที่จําเป็นสําหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โรงงานผลิตเริ่มต้นด้วยการทําให้ซิลิกอนดิบบริสุทธิ์เพื่อขจัดสิ่งสกปรกก่อนที่จะหลอมละลาย นี่เป็นสิ่งสําคัญในการรับรองประสิทธิภาพและความน่าเชื่อถือของเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสุดท้าย กระบวนการเจริญเติบโตของผลึกช่วยให้อะตอมของซิลิกอนสามารถจัดเรียงตัวเองใหม่เป็นโครงสร้างผลึกเดียวเมื่อแข็งตัว ในระหว่างการเจริญเติบโตของผลึกสิ่งสกปรกหรือสารเจือบางจะถูกเพิ่มเพื่อปรับเปลี่ยนคุณสมบัติทางไฟฟ้าของคริสตัลและสร้างเซมิคอนดักเตอร์ชนิด p หรือ n ในที่สุดแท่งซิลิกอนที่เติบโตแล้วจะผ่านการหลอมซึ่งเป็นการอบชุบด้วยความร้อนที่ขจัดความเครียดและข้อบกพร่องในโครงสร้างผลึกทําให้มั่นใจได้ถึงความสม่ําเสมอและคุณภาพ
กระบวนการดึงแท่งโลหะเกิดขึ้นในเตาเผาที่จํากัดและแยกจากกัน และต้องใช้เวลาหลายวันจึงจะเสร็จสมบูรณ์ ดังนั้นการรับรองกระบวนการพัฒนาแท่งโลหะจึงมีความสําคัญต่อการปรับปรุงผลผลิตของผลิตภัณฑ์ เครื่องชั่งตั้งพื้นแบบ ultra low profile ของ METTLER TOLEDO สามารถวางไว้ใต้เตาเผา ซึ่งให้การเปลี่ยนแปลงข้อมูลน้ำหนักแบบเรียลไทม์ เพื่อให้มั่นใจได้ถึงความต่อเนื่องของกระบวนการ
เมื่อแท่งซิลิกอนเติบโตแล้วขั้นตอนที่สําคัญต่อไปคือการหั่นเป็นเวเฟอร์บาง ๆ เวเฟอร์เหล่านี้ทําหน้าที่เป็นพื้นผิวสําหรับวงจรรวม แท่งโลหะจะถูกตัดแต่งก่อนเพื่อขจัดสิ่งผิดปกติและสร้างพื้นผิวเรียบก่อนที่จะหั่นเป็นเวเฟอร์บาง ๆ โดยใช้เลื่อยเพชรหรือเลื่อยลวด โดยปกติแล้วเวเฟอร์จะถูกหั่นให้มีความหนา 200 ถึง 300 ไมโครเมตร เวเฟอร์ที่ตัดหยาบได้รับการทําความสะอาดอย่างทั่วถึงเพื่อขจัดเศษขยะหรือสิ่งปนเปื้อนที่สะสมจากกระบวนการหั่น
โรงงานผลิตเวเฟอร์และโรงงานผลิตชิปมักจะใช้สารประกอบ สารเคมี ก๊าซ และวัตถุดิบหลายชนิดเป็นส่วนหนึ่งของกระบวนการ เมื่อสารเคมีเข้าสู่โรงงาน มักจะชั่งน้ำหนักรถส่งทั้งหมดเท่านั้น สิ่งนี้จะให้ข้อมูลเกี่ยวกับปริมาณวัสดุที่เข้ามา แต่จะไม่บอกความบริสุทธิ์หรือองค์ประกอบของวัสดุ
อย่างไรก็ตาม การตรวจสอบอย่างรวดเร็วนี้จะช่วยให้คุณหลีกเลี่ยงปัญหาที่เกี่ยวข้องกับการส่งมอบวัตถุดิบน้อยเกินไปหรือมากเกินไป การ ชั่งน้ำหนักยานพาหนะ อย่างรวดเร็วจะช่วยคุณคาดการณ์ปัญหาการผลิตที่อาจเกิดจากการมีวัตถุดิบในมือน้อยเกินไป
เมื่อตู้คอนเทนเนอร์ถูกขนถ่ายและนําเข้ามาในโรงงานของคุณแล้ว จะสามารถตรวจสอบคุณภาพก่อนที่จะนําไปใช้ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ของคุณ
โหลดเซลล์และเครื่องชั่งตั้งพื้นของ METTLER TOLEDO จะช่วยให้คุณวัดวัสดุได้อย่างแม่นยําก่อนใช้งานในโรงงานของคุณ นอกจากนี้ยังเปิดโอกาสให้ทําวิศวกรรมย้อนกลับการรวมกันของสารเคมีที่มีอยู่ในสารประกอบ เครื่องชั่งและเครื่องมือวิเคราะห์ในห้องปฏิบัติการของ METTLER TOLEDO จะช่วยให้คุณตรวจสอบวัตถุดิบและตรวจสอบคุณภาพก่อนใช้งานได้
ประสิทธิภาพการขัดเงาขึ้นอยู่กับกระบวนการออกซิเดชันที่เกิดขึ้นบนเวเฟอร์ซิลิกอน คุณสามารถใช้เทคนิคต่างๆ เช่น การ ไทเทรต เพื่อกําหนดความเข้มข้นของ H2O2 ในสารละลายที่ผลิตสารละลาย อีกวิธีหนึ่งคือการวัด ความหนาแน่น หรือ ดัชนีการหักเหของแสง ให้การวิเคราะห์ที่รวดเร็ว ง่ายดาย และปลอดภัย
สารเคมีที่เข้ามา เช่น ไซเลน ออกซิเจน และไนตรัสออกไซด์ถูกนํามาใช้ในระหว่างกระบวนการสะสมไอเคมี (CVD) อาร์กอนถูกนํามาใช้เพื่อขจัดสิ่งปนเปื้อนในภายหลัง ก๊าซทั้งหมดเหล่านี้ต้องการคุณภาพที่น่าทึ่งเพื่อให้มีผลกระทบที่เหมาะสมต่อเวเฟอร์ของคุณ
โฟโตลิธโธกราฟีมักใช้สารเคมีโฟโตรีซิสต์ โซลูชันสําหรับนักพัฒนา (เช่น TMAH) สารเคลือบป้องกันแสงสะท้อน และตัวทําละลายที่มาจากซัพพลายเออร์ภายนอก คุณภาพของตัวทําละลายของคุณ เช่น IPA หรืออะซิโตน มักจะเป็นเรื่องเล็กน้อยและจะไม่ส่งผลกระทบอย่างมากต่อกระบวนการของคุณ อย่างไรก็ตาม สารเคมี photoresist จะเป็นตัวกําหนดคุณภาพของกระบวนการโฟโตลิโธกราฟีของคุณ
การผลิตโฟโตรีซิสต์เป็นงานที่ซับซ้อนซึ่งผสมผสานสูตรเคมีที่มีความแม่นยําสูงการควบคุมคุณภาพอย่างเข้มงวดและงานฝีมือชั้นดี การดําเนินการที่ถูกต้องของแต่ละขั้นตอนเป็นสิ่งสําคัญ
การตรวจสอบน้ำหนักที่แม่นยําของโฟโตรีซิสต์ในแต่ละภาชนะในระหว่างกระบวนการบรรจุเป็นสิ่งสําคัญและไม่เพียงส่งผลกระทบต่อความสม่ำเสมอของคุณภาพของผลิตภัณฑ์ แต่ยังส่งผลต่อประสิทธิภาพทางเศรษฐกิจและชื่อเสียงทางการตลาดของบริษัทด้วย
ในกระบวนการที่สําคัญนี้ เทคโนโลยีการชั่งน้ำหนักทางอุตสาหกรรมจะกลายเป็นรากฐานที่สําคัญของคุณภาพของโฟโตรีซิสต์ โดย เฉพาะอย่างยิ่งในการวัดวัตถุดิบที่แม่นยํา
สารเคมีดิบที่ไม่ดีจะนําไปสู่การเคลือบที่ไม่สม่ำเสมอและการพิมพ์หินที่ไม่เร่งความเร็ว ความเสถียรทางเคมีและความไวของวัสดุโฟโตรีซิสต์มักเชื่อมโยงกับค่า pH ของสารละลาย ซึ่งสามารถวัดได้อย่างมีประสิทธิภาพโดยใช้ เครื่องวัดค่า pH และเซ็นเซอร์ของ METTLER TOLEDO
การแกะสลักจะนําวัสดุหรือพื้นที่เฉพาะออกจากเวเฟอร์ของคุณ ทําได้โดยใช้คลอรีน ไฮโดรเจนโบรไมด์ ออกซิเจน ก๊าซที่มีฟลูออรีน (การแกะสลักแบบแห้ง) หรือสูตรเฉพาะของสารเคมี (การแกะสลักแบบเปียก) สารเคมีที่มาจากภายนอกอาจมีการเปลี่ยนแปลงอย่างมากในด้านคุณภาพและองค์ประกอบทางเคมีซึ่งจะส่งผลต่อคุณภาพของกระบวนการแกะสลัก
การรับรองการเตรียมกรดที่แม่นยําที่โรงงานของซัพพลายเออร์นําไปสู่วัสดุคุณภาพสูงอย่างสม่ำเสมอ ซึ่งจําเป็นต่อการบรรลุกระบวนการแกะสลักที่เชื่อถือได้และแม่นยํา ด้วยการใช้โซลูชันการชั่งน้ำหนักขั้นสูง ผู้ผลิตจะช่วยเพิ่มความน่าเชื่อถือในการผลิต ปรับปรุงการดําเนินงาน และสนับสนุนความมุ่งมั่นในการปฏิบัติที่ยั่งยืน ซึ่งนําไปสู่การจัดการทรัพยากรที่ดีขึ้นและการประหยัดต้นทุนเมื่อเวลาผ่านไป
ค่า pH ของสารละลายเคมีที่ใช้ระหว่างกระบวนการกัดสามารถวัดได้อย่างมีประสิทธิภาพโดยใช้เซ็นเซอร์วัดค่า pH แบบอินไลน์และออฟไลน์ของ METTLER TOLEDO ในขณะที่ความเข้มข้นของการแกะสลักและโมเลกุลต่างๆ ที่เกิดขึ้นระหว่างกระบวนการสามารถวัดได้โดยใช้สารละลายไทเทรตของเรา
ในการปอก คุณมักจะใช้ออกซิเจนพลาสมา กรดซัลฟิวริก ไฮโดรเจนเปอร์ออกไซด์ NMP หรือไดเมทิลซัลฟไซด์ ตัวทําละลายทั้งหมดนี้ใช้เพื่อขจัดบางส่วนของโฟโตรีซิสเตอร์บนเวเฟอร์ซิลิกอนอย่างมีกลยุทธ์และเฉพาะเจาะจง คุณภาพของสารเคมีจะส่งผลต่อคุณภาพของกระบวนการลอกและสามารถตรวจสอบได้โดยใช้การวัดความหนาแน่นและการหักเหของแสง
สิ่งสําคัญคือต้องตรวจสอบคุณภาพของน้ำยาล้างอย่างใกล้ชิด เนื่องจากสิ่งสกปรกบนพื้นผิวของเวเฟอร์ซิลิกอนอาจส่งผลเสียต่อขั้นตอนการประมวลผลในภายหลังและทําให้คุณภาพของผลิตภัณฑ์ขั้นสุดท้ายลดลง การตรวจสอบในแหล่งกําเนิดที่แม่นยําให้ข้อมูลเชิงลึกแบบเรียลไทม์เกี่ยวกับสภาพของอ่างทําให้สามารถเติมเต็มได้ทันท่วงทีซึ่งอาจคุ้มค่าสูงสําหรับกระบวนการผลิตโดยรวม โพรบ ReactIR และ ReactRaman™ ของเราเป็นวิธีที่ง่ายและมีประสิทธิภาพในการติดตามองค์ประกอบของอ่างทําความสะอาดหรือล้าง เพื่อให้มั่นใจได้ถึงคุณภาพที่ดีที่สุดตลอดการผลิต
การตรวจสอบความเข้มข้นของไฮโดรเจนเปอร์ออกไซด์ (H₂O₂) หรือกรดซัลฟิวริก (H₂SO₄) ในสารละลายทําความสะอาด สเปกโตรโฟโตเมตรี UV/VIS ช่วยให้มั่นใจได้ว่าสารละลายเหล่านี้อยู่ในช่วงความเข้มข้นที่ถูกต้องสําหรับการทําความสะอาดเวเฟอร์ที่มีประสิทธิภาพ
ด้วยความช่วยเหลือของเรา คุณจะมีข้อมูลเชิงลึกที่ดีขึ้นเกี่ยวกับปริมาณ คุณภาพ และองค์ประกอบของวัตถุดิบ ของคุณ
โหลดเซลล์ และ เครื่องชั่งตั้งพื้น: ให้การวัดวัสดุจํานวนมากที่แน่นอนเพื่อหลีกเลี่ยงปัญหาการส่งมอบน้อยเกินไปหรือมากเกินไป
เครื่องชั่งความแม่นยําสูง: รับประกันการชั่งน้ําหนักวัตถุดิบที่เข้ามาอย่างแม่นยําเพื่อการควบคุมที่แม่นยําและการประกันคุณภาพ
เครื่องชั่งเชิงวิเคราะห์ MS/ML: ตรวจสอบให้แน่ใจว่ามีการวัดสารเคมีอย่างแม่นยํา ซึ่งเป็นสิ่งสําคัญสําหรับการรักษาความบริสุทธิ์และความสม่ําเสมอของแท่งซิลิกอน
เครื่องชั่ง: ตรวจสอบการชั่งน้ําหนักวัตถุดิบที่เข้ามาอย่างแม่นยําเพื่อการควบคุมที่แม่นยําและการประกันคุณภาพ ตรวจสอบให้แน่ใจว่ามีการวัดสารเคมีอย่างแม่นยํา ซึ่งเป็นสิ่งสําคัญสําหรับการรักษาความบริสุทธิ์และความสม่ําเสมอของแท่งซิลิกอน ตรวจสอบการชั่งน้ําหนักเวเฟอร์อย่างแม่นยํา ตรวจสอบความหนาแน่นและความบริสุทธิ์ของซิลิกอนและวัตถุดิบที่เป็นของแข็งอื่นๆ เพื่อรักษามาตรฐานคุณภาพสูง
เครื่องวัดความหนาแน่น: ตรวจสอบความหนาแน่นและความบริสุทธิ์ของสารละลายเคมีเพื่อรักษามาตรฐานคุณภาพสูง
จุดหลอมเหลว (จุดเดือด): ตรวจสอบความบริสุทธิ์ของตัวทําละลายที่ใช้ในกระบวนการ
เครื่องมือวิเคราะห์ความร้อน: วิเคราะห์คุณสมบัติทางความร้อนของวัสดุเพื่อให้แน่ใจว่าเป็นไปตามข้อกําหนด
เครื่องวัดความชื้น: กําหนดปริมาณความชื้นในวัตถุดิบเพื่อป้องกันการปนเปื้อน
เครื่องไทเทรต: วัดความเข้มข้นของสารเคมีที่ใช้ในกระบวนการต่างๆ ได้อย่างแม่นยํา
เซ็นเซอร์วัดค่า pH : ตรวจสอบและควบคุมระดับค่า pH ในสารละลายเคมีที่ใช้ตลอดกระบวนการ การควบคุมค่า pH ที่แม่นยําเป็นสิ่งสําคัญสําหรับการแกะสลัก การทําความสะอาด หรือการเจือชิปอย่างมีประสิทธิภาพ
เครื่องวัดสเปกโตรโฟโตมิเตอร์ UV / Vis: ตรวจสอบให้แน่ใจว่าวัตถุดิบและสารเคมีเป็นไปตามมาตรฐานความบริสุทธิ์สูง ซึ่งมีความสําคัญต่อกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ระบุสิ่งสกปรกเฉพาะตามลักษณะการดูดกลืนแสง
การปฏิบัติงานของเซมิคอนดักเตอร์ของคุณสามารถรับประกันคุณภาพสูงสุดของวัตถุดิบที่เข้ามา ซึ่งนําไปสู่ผลิตภัณฑ์ขั้นสุดท้ายที่เหนือกว่า
ค้นพบเครื่องมือล้ําสมัยที่ออกแบบมาเพื่อพัฒนาการวิจัยและพัฒนาเซมิคอนดักเตอร์ เพื่อให้มั่นใจถึงความแม่นยํา ความน่าเชื่อถือ และนวัตกรรมในการพัฒนาวัสดุและอุปกรณ์
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "หัววัดค่า pH / หัววัด ORP (รีด็อกซ์) แบบอินไลน์")
เราเข้าใจดีว่าความแม่นยําและความน่าเชื่อถือเป็นสิ่งสําคัญในงานของคุณ และโซลูชันของเราได้รับการออกแบบมาเพื่อสนับสนุนคุณในทุกขั้นตอน ทีมงานของเราทุ่มเทเพื่อให้อุปกรณ์ของคุณทํางานได้อย่างราบรื่น เพื่อให้คุณสามารถมุ่งเน้นไปที่สิ่งที่สําคัญที่สุด นั่นคือการบรรลุผลลัพธ์ที่ก้าวล้ํา มาร่วมมือกันเพื่อเพิ่มความพยายามของคุณและขับเคลื่อนนวัตกรรมในด้านเซมิคอนดักเตอร์
