
- Požadavky na vodu v mikroelektronickém průmyslu
Ve výrobním závodě mikroelektroniky se při výrobě spotřebuje velké množství vody, která musí být bez kontaminantů, aby splňovala přesně stanovenou čistotu požadovanou pro maximální výtěžnost výroby. Zásobování vodou musí fungovat bez jakýchkoli výpadků, aby nedocházelo k přerušení výrobního procesu, což vyžaduje nepřetržité online sledování kvality vody.
TOC je jedním z klíčových parametrů pro zajištění kvality vody v takovém provozu, protože může poškodit vyráběný produkt a vést k významným ztrátám. Kritický význam tohoto měření je patrný z více odběrných míst během procesu úpravy vody pro TOC (obr. 3) a z velmi nízkých přípustných limitů (tabulka 1).











