การวิเคราะห์ TOC ใน UPW สำหรับเซมิคอนดักเตอร์

กระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์มีข้อกำหนดที่เข้มงวดที่สุดเกี่ยวกับการปนเปื้อนไอออนและอินทรีย์ในระบบน้ำบริสุทธิ์/น้ำบริสุทธิ์สูง การตรวจวัด TOC ของน้ำในเซมิคอนดักเตอร์ช่วยให้ผู้ผลิตสามารถปรับปรุงคุณภาพผลิตภัณฑ์และเพิ่มผลผลิตได้ ความก้าวหน้าในเทคโนโลยีการทำให้น้ำบริสุทธิ์และและนวัตกรรมในการตรวจวัดสิ่งปลอมปนเหล่านี้มีส่วนสำคัญอย่างมากในการปรับปรุงและตรวจวัดคุณภาพของน้ำบริสุทธิ์สูง ในทางกลับกัน ความก้าวหน้าเหล่านี้ก็ได้ลดข้อกำหนดสำหรับระดับสิ่งปลอมปนในระบบ UPW ทุกๆ ระดับลง

การวิเคราะห์คาร์บอนอินทรีย์รวม / TOC ใน UPW สำหรับเซมิคอนดักเตอร์เป็นวิธีการที่มีประสิทธิภาพสูงในการตรวจสอบอินทรีย์ปลอมปนในน้ำบริสุทธิ์สูงและ “สภาพ” ของระบบ UPW ที่ใช้ในอุตสาหกรรมไมโครอิเล็กทรอนิกส์ อินทรีย์เป็นแหล่งอาหารของแบคทีเรียต่างๆ ที่อาจอยู่ในระบบแจกจ่าย ถังเก็บรักษา และโมดูลเทคโนโลยีหรือการบำบัดของกระบวนการ การตรวจวัดระดับอินทรีย์ในระบบ UPW ที่แม่นยำ รวดเร็ว และสะดวกนี้ช่วยประหยัดเงินได้หลายล้านดอลลาร์ เพราะช่วยป้องกันไม่ให้มีการสูญเสียผลิตภัณฑ์

เซ็นเซอร์ 6000TOCi และทรานสมิตเตอร์ M800 มีประสิทธิภาพการทำงานที่ตอบสนองความต้องการเหล่านี้ได้ พร้อมทั้งยังมีการตรวจวัดในสายการผลิตอย่างต่อเนื่องในชุดอุปกรณ์ทางอุตสาหกรรมที่แทบไม่ต้องบำรุงรักษาใดๆ และมาพร้อมกับเทคโนโลยีพารามิเตอร์หลายตัวที่ได้รับการพิสูจน์มาแล้ว เซ็นเซอร์ 6000TOCi จะประสานงานกับทรานสมิตเตอร์ M800 โดยตรง ซึ่งช่วยให้พิกัดพารามิเตอร์การตรวจวัดเพิ่มขึ้น เซ็นเซอร์ 6000TOCi กับทรานสมิตเตอร์ M800 ติดตั้งมาพร้อมกับระบบการจัดการหัววัดแบบอัจฉริยะ (ISM) ของ METTLER TOLEDO การวินิจฉัยขั้นสูงจาก ISM ช่วยให้แน่ใจได้ว่าเซ็นเซอร์ของคุณจะทำงานได้เต็มประสิทธิภาพตลอดเวลา

อ่านเพิ่มเติมเกี่ยวกับเซ็นเซอร์ 6000TOCi และทรานสมิตเตอร์ M800 รวมถึงวิธีนำไปใช้ในการวิเคราะห์ TOC ใน UPW ได้ที่เอกสารการใช้งานและข้อมูลด้านล่างนี้

• เซ็นเซอร์ 6000TOCi – เซ็นเซอร์วัดคาร์บอนอินทรีย์รวมประสิทธิภาพสูงที่สามารถตรวจสอบ TOC ของน้ำในเซมิคอนดักเตอร์ได้ด้วยการตรวจวัดแบบเรียลไทม์และการวิเคราะห์ที่ถูกต้องและเสถียร เซ็นเซอร์วัดประสิทธิภาพน้ำที่สามารถตรวจสอบประสิทธิภาพของระบบได้
• ทรานสมิตเตอร์ M800 – ทรานสมิตเตอร์หลายพารามิเตอร์มีเซ็นเซอร์วิเคราะห์แบบอื่นอีก 3 แบบนอกจาก TOC ได้แก่ การน้ำไฟฟ้า, pH, ORP หรือออกซิเจนละลายน้ำ[SST1]  รวมถึงเซ็นเซอร์วัดแรงดัน เซ็นเซอร์วัดระดับถัง หรือเซ็นเซอร์วัดการไหลสองตัว
• การจัดการหัววัดแบบอัจฉริยะ (ISM) – เทคโนโลยีเซ็นเซอร์ดิจิทัลที่ช่วยให้มั่นใจได้ถึงการบำรุงรักษาที่คาดการณ์ได้ การจัดการเซ็นเซอร์ที่ง่ายดาย และการผลิตที่มีประสิทธิภาพ