หนึ่งในผู้ผลิตเซมิคอนดักเตอร์รายใหญ่ที่สุดของเอเชียกำลังดิ้นรนกับการวัดค่าก๊าซออกซิเจนละลายน้ำ พวกเขาใช้ระบบที่มีราคาแพง ซึ่งในภายหลังจำเป็นต้องดำเนินการบำรุงรักษานาน 3 - 4 วัน ก่อนที่การอ่านค่า DO จะมีความเสถียรเพียงพอที่จะใช้งาน
โรงหล่อได้แก้ปัญหาดังกล่าวโดยใช้ระบบของเซ็นเซอร์วัดค่า DO แบบออพติคัลและทรานสมิตเตอร์ M800 ของ METTLER TOLEDO Thornton ในการวัดค่า DO ในระบบน้ำบริสุทธิ์พิเศษ
การวัดค่าออกซิเจนละลายน้ำมีความสำคัญอย่างสูงในโรงงานหล่อเซมิคอนดักเตอร์แห่งนี้ ความคาดหวังของพวกเขานั้นสูงรวมถึงความเร็วสูงในการตอบสนอง ระดับการตรวจจับต่ำและการบำรุงรักษาน้อยลง METTLER TOLEDO ไม่เพียงได้ดำเนินการตามที่มุ่งหวังแต่ยังบรรลุผลเกินความคาดหมายด้วยโซลูชันที่รวมถึง เซ็นเซอร์วัดค่า DO แบบออพติคัล และ ทรานสมิตเตอร์ M800 เซ็นเซอร์วัดค่า DO ที่มีเทคโนโลยีแบบออพติคัลไม่ต้องการการโพลาไรซ์ ดังนั้นระบบการวัดค่าจึงมีความพร้อมใช้งานสูงมาก ทรานสมิตเตอร์ M800 มีความสามารถในการวัดค่าหลายพารามิเตอร์และหลายช่องทาง ซึ่งทำให้การวัดค่า DO สามารถจับคู่กับการวัดค่าพารามิเตอร์อื่นๆ ได้
ดาวน์โหลดกรณีศึกษาเพื่ออ่านรายละเอียดทั้งหมด รวมถึงหัวข้อต่อไปนี้:
- เพราะเหตุใดจึงต้องตรวจวัดออกซิเจนละลายน้ำในโรงหล่อเซมิคอนดักเตอร์?
- ข้อดีด้านความแม่นยำและการตอบสนอง
- การประหยัดระยะยาวด้วยการตรวจวัดแบบออพติคัล
ออกซิเจนละลายน้ำจะถูกวัดค่าหลังจากการไล่ก๊าซออกของ น้ำบริสุทธิ์พิเศษ (UPW) เพื่อตรวจสอบการขจัดออกซิเจนออกจากน้ำ ออกซิเจนละลายน้ำที่ลดลงช่วยคงการนำไฟฟ้าระดับต่ำของน้ำ ซึ่งสำคัญมากต่อขั้นตอนถัดไปในการบำบัด โดยเฉพาะเมื่อใช้วิธีการ Continuous Electrodeionization ความเข้มข้นของออกซิเจนละลายน้ำ ณ ตำแหน่งใช้งาน (POU) ในระหว่างกระบวนการผลิตแผ่นชิพจะถูกคงไว้ที่ระดับน้อยกว่า 5? ppb เพื่อป้องกันการสูญเสียการควบคุมความหนาของเกทออกไซด์ ยิ่งมีออกซิเจนละลายน้ำระดับสูงขึ้นที่ POU สามารถส่งผลให้เกิดการกัดเซาะที่ไม่คาดคิดจากน้ำที่เติมออกซิเจน ซึ่งทำให้เกิดความล้มเหลวและผลที่ได้ต่ำในต้นทุนทางการเงินสูง