V vsakem večjem obratu za proizvodnjo polprevodnikov se surovine in kemikalije kupujejo iz zunanjih virov. To lahko privede do velikih težav s kakovostjo, če vhodni materiali ne ustrezajo standardom kakovosti vašega objekta. Preprosto, slaba kakovost surovin bo privedla do podpovprečnih IC.
METTLER TOLEDO ima linijo opreme za pregledovanje, potrjevanje in kvalifikacijo, ki bo zagotovila, da so vhodne surovine in kemikalije dovolj kakovostne, da ustrezajo vašim specifikacijam in zahtevam glede kakovosti končnega izdelka.
Ustvarjanje polprevodnika se začne s surovim silicijem, ki ga je treba rafinirati, da se doseže ultra čista, monokristalna oblika, potrebna za proizvodnjo polprevodnikov. Proizvodni obrati začnejo s čiščenjem surovega silicija, da odstranijo vse nečistoče, preden ga stopijo. To je bistvenega pomena za zagotavljanje zmogljivosti in zanesljivosti končnega polprevodnika. Proces rasti kristalov omogoča, da se atomi silicija preuredijo v monokristalno strukturo, ko se strdijo in tvorijo končni veliki cilindrični silicijev ingot. Med rastjo kristalov se dodajo specifične nečistoče ali dopanti, da se spremenijo električne lastnosti kristala in ustvarijo polprevodniki tipa p ali n. Končno se gojeni silicijev ingot žari, toplotna obdelava, ki odstrani napetosti in napake v kristalni strukturi, kar zagotavlja enakomernost in kakovost.
Postopek vlečenja ingotov poteka v zaprti in izolirani peči in zahteva nekaj dni časa za dokončanje. Zato je zagotavljanje procesa razvoja ingota ključnega pomena za izboljšanje donosa izdelka. Ultranizkoprofilne talne tehtnice METTLER TOLEDO se lahko namestijo pod peč za rast, kar omogoča spreminjanje podatkov o teži v realnem času in zagotavlja neprekinjeno delovanje procesa.
Ko je silicijev ingot zrasel, je naslednji kritični korak, da ga narežemo na tanke rezine. Te rezine služijo kot substrat za integrirana vezja. Ingoti se najprej obrežejo, da se odstranijo nepravilnosti in ustvari ravna površina, nato pa se z diamantnimi žagami ali žičnimi žagami narežemo na tanke rezine. Običajno so rezine narezane na debelino od 200 do 300 mikrometrov. Grobo rezane rezine temeljito očistimo, da odstranimo vse ostanke ali onesnaževalce, ki so se nanesli pri postopku rezanja.
Obrati za proizvodnjo rezin in obrati za proizvodnjo čipov bodo pogosto uporabljali več različnih spojin, kemikalij, plinov in surovin kot del procesov. Ko kemikalije vstopijo v objekte, se običajno stehta celotno dostavno vozilo. To vam bo dalo podatke o tem, koliko materiala prihaja, vendar vam ne bo povedalo čistosti ali sestave materialov.
Vendar pa vam bo to hitro preverjanje omogočilo, da se izognete težavam, povezanim s premajhno ali prekomerno dobavo surovin. Hitro tehtanje vozil vam bo pomagalo predvideti težave s proizvodnjo, ki bi lahko nastale zaradi premalo surovin pri roki.
Ko so zabojniki raztovorjeni in pripeljani v vaš objekt, jih lahko preverite glede kakovosti, preden jih uporabite v proizvodnji polprevodnikov.
Merilne celice in talne tehtnice METTLER TOLEDO vam bodo omogočile natančne meritve materialov, preden jih uporabite v svojem obratu. Prav tako ponuja priložnost za obratni inženiring kombinacije kemikalij, ki so prisotne v spojini. Laboratorijske tehtnice in analitični instrumenti METTLER TOLEDO vam omogočajo, da pred uporabo pregledate surovine in preverite kakovost.
Učinkovitost poliranja je odvisna od oksidacijskega procesa, ki se pojavlja na silicijevi rezini. Uporabite lahko različne tehnike, kot je titracija, da določite koncentracijo H2O2v raztopini, ki proizvaja gnojevko. Druga možnost je, da merjenje gostote ali lomnega količnika omogoča hitro, enostavno in varno analizo.
Vhodne kemikalije, kot so silan, kisik in dušikov oksid, se uporabljajo med postopkom kemičnega nanašanja pare (CVD). Argon se kasneje uporablja za odstranjevanje onesnaževalcev. Vsi ti plini zahtevajo neverjetno kakovost, da imajo pravi vpliv na vaše rezine.
Fotolitografija običajno uporablja fotorezistne kemikalije, rešitve za razvijalce (kot je TMAH), antirefleksne premaze in topila, ki izvirajo od zunanjih dobaviteljev. Kakovost vaših topil, kot sta IPA ali aceton, je običajno nepomembna in ne bo imela velikega vpliva na vaš proces. Vendar pa bodo fotorezistične kemikalije določile kakovost vašega fotolitografskega procesa.
Izdelava fotorezistov je zapletena naloga, ki združuje visoko natančno kemično formulacijo, strog nadzor kakovosti in fino izdelavo. Natančna izvedba vsakega koraka je ključnega pomena.
Zagotavljanje natančne teže fotorezistov v vsaki posodi med postopkom polnjenja je bistvenega pomena in vpliva ne le na doslednost kakovosti izdelkov, temveč tudi na ekonomsko učinkovitost in tržni ugled podjetja.
V tem kritičnem procesu industrijska tehnologija tehtanja postane temelj kakovosti fotorezistov, zlasti pri natančnem merjenju surovin, natančnem nadzoru sestavin, natančnem polnjenju in končnem pregledu kakovosti izdelkov.
Slabe surovine bodo povzročile neenakomerne premaze in nepospešeno litografijo. Kemijska stabilnost in občutljivost fotorezistnih materialov sta pogosto povezani s pH raztopine, ki ga je mogoče učinkovito izmeriti s pH-metri in senzorji METTLER TOLEDO.
Operacije jedkanja odstranijo določene materiale ali območja iz vaše rezine. To se naredi s klorom, vodikovim bromidom, kisikom, plini na osnovi fluora (suho jedkanje) ali formulami kemikalij, specifičnimi za podjetje (mokro jedkanje). Kemikalije, pridobljene zunaj, imajo lahko velike razlike v kakovosti in kemični sestavi, kar bo nato vplivalo na kakovost postopka jedkanja.
Zagotavljanje natančne priprave kislin v dobaviteljevih obratih vodi do dosledno visokokakovostnih materialov, ki so bistvenega pomena za doseganje zanesljivih in natančnih postopkov jedkanja. Z uporabo naprednih rešitev za tehtanje proizvajalci povečujejo zanesljivost proizvodnje, racionalizirajo delovanje in podpirajo zavezanost trajnostnim praksam, kar sčasoma vodi do boljšega upravljanja virov in prihrankov stroškov.
pH kemijskih raztopin, ki se uporabljajo med postopkom jedkanja, je mogoče učinkovito izmeriti z vgrajenimi in offline pH senzorji METTLER TOLEDO, medtem ko je koncentracijo jedkanja in različnih molekul, ki nastanejo v postopku, mogoče določiti z uporabo naših raztopin titratorja.
Pri odstranjevanju boste verjetno uporabili kisikovo plazmo, žveplovo kislino, vodikov peroksid, NMP ali dimetil sulfoksid. Vsa ta topila se uporabljajo za strateško in specifično odstranjevanje delov fotorezista na silicijevi rezini. Kakovost kemikalij bo zato vplivala na kakovost postopka odstranjevanja in jo je mogoče spremljati z meritvami gostote in refraktometrijo .
Bistveno je skrbno spremljati kakovost raztopine za pranje, saj lahko vse nečistoče na površini silicijeve rezine negativno vplivajo na nadaljnje korake obdelave in ogrozijo kakovost končnega izdelka. Natančno spremljanje na kraju samem zagotavlja vpogled v stanje kopeli v realnem času, kar omogoča pravočasno polnjenje, kar je lahko zelo stroškovno učinkovito za celoten proizvodni proces. Naše sonde ReactIR in ReactRaman™ ponujajo enostaven in učinkovit način za sledenje sestavi čistilnih ali pralnih kopeli, kar zagotavlja optimalno kakovost v celotni proizvodnji.
Preverjanje koncentracije vodikovega peroksida (H₂O₂) ali žveplove kisline (H₂SO₄) v čistilnih raztopinah. UV/VIS spektrofotometrija zagotavlja, da so te raztopine v pravilnem območju koncentracij za učinkovito čiščenje rezin.
Z našo pomočjo lahko imate boljši vpogled v količino, kakovost in sestavo vaših surovin.
Merilne celice in talne tehtnice: zagotovite natančne meritve razsutega materiala, da se izognete težavam s premajhno ali prekomerno dobavo.
Natančne tehtnice: zagotavljajo natančno tehtanje vhodnih surovin za natančen nadzor in zagotavljanje kakovosti.
Analitične tehtnice MS/ML: Zagotovite natančno merjenje kemikalij, kar je ključnega pomena za ohranjanje čistosti in konsistence silicijevega ingota.
Tehtnice: Zagotovite natančno tehtanje vhodnih surovin za natančen nadzor in zagotavljanje kakovosti. Zagotovite natančno merjenje kemikalij, kar je ključnega pomena za ohranjanje čistosti in konsistence silicijevega ingota. Zagotovite natančno tehtanje rezine. Preverite gostoto in čistost silicija in drugih trdnih surovin, da ohranite visoke standarde kakovosti.
Merilniki gostote: Preverite gostoto in čistost kemičnih raztopin, da ohranite visoke standarde kakovosti.
Tališče (vrelišče): Preverite čistost topil, uporabljenih v postopku.
Instrumenti za termično analizo: Analizirajte toplotne lastnosti materialov, da zagotovite, da ustrezajo specifikacijam.
Analizatorji vlage: določite vsebnost vlage v surovinah, da preprečite kontaminacijo.
Titratorji: Natančno merijo koncentracijo kemikalij, ki se uporabljajo v različnih procesih.
Senzorji in merilniki pH: Spremljajte in nadzorujte ravni pH v kemičnih raztopinah, ki se uporabljajo v celotnem procesu. Natančen nadzor pH je ključnega pomena za učinkovito jedkanje, čiščenje ali dopiranje čipov.
UV/Vis spektrofotometer: Zagotovite, da surovine in kemikalije izpolnjujejo visoke standarde čistosti, ki so ključni za procese proizvodnje polprevodnikov. Opredelite specifične nečistoče na podlagi njihovih absorpcijskih značilnosti.
Z uporabo napredne analitične opreme podjetja METTLER TOLEDO lahko vaše polprevodniško delovanje zagotovi najvišjo kakovost vhodnih surovin, kar vodi do vrhunskih končnih izdelkov.
Odkrijte najsodobnejše instrumente, zasnovane za napredek na področju raziskav in razvoja polprevodnikov, ki zagotavljajo natančnost, zanesljivost in inovacije pri razvoju materialov in naprav.
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "Linijska pH Sonda/ORP (redoks) sonda")
Zavedamo se, da sta natančnost in zanesljivost bistvenega pomena pri vašem delu, naše rešitve pa so zasnovane tako, da vas podpirajo na vsakem koraku. Naša ekipa je predana zagotavljanju nemotenega delovanja vaše opreme, tako da se lahko osredotočite na tisto, kar je najpomembnejše – doseganje prelomnih rezultatov. Sodelujmo, da okrepimo vaša prizadevanja in spodbudimo inovacije na področju polprevodnikov.
