 |
Opór właściwy, który jest wartością odwrotną do przewodności, jest najbardziej krytycznym parametrem do monitorowania w przemyśle mikroelektronicznym w celu utrzymania jakości wody ultraczystej. Bardzo stabilny pomiar oporu właściwego jest niezbędny dla producentów półprzewodników i pozwala zapewnić wysoką jakość produktów.
Aby udoskonalić procesy i produkt końcowy, jeden z największych producentów półprzewodników w Ameryce Północnej poszukiwał rozwiązania do pomiaru oporu właściwego, który spełniłby jego wysokie oczekiwania. We współpracy z METTLER TOLEDO producent przetestował przez kilka tygodni system UniCond® do pomiaru oporu właściwego w systemie wody ultraczystej. Po przeanalizowaniu wyników testu w pętli wodnej zakład produkcyjny zaobserwował znaczny wzrost wydajności pomiaru oporu właściwego w porównaniu z poprzednim rozwiązaniem. Podjęto decyzję o zmianie strategii, która teraz przewiduje czujniki wody ultraczystej UniCond do nowych i modernizowanych zakładów. Uzyskane pomiary oporu właściwego przekroczyły wszelkie oczekiwania, przy zachowaniu stabilności i dokładności wykraczającej poza możliwości jakiegokolwiek innego czujnika oporu właściwego dostępnego na rynku.
W tym studium przypadku omawiamy następujące zagadnienia:
- Kontekst sytuacji klienta
- Ocena ustawień testowych do pomiaru oporu właściwego
- Ocena wyników
Czujnik wody ultraczystej UniCond firmy METTLER TOLEDO oferuje wysoką powtarzalność pomiarów. Ulepszone cyfrowe przetwarzanie sygnału redukuje szumy i zapewnia poprawę stabilności pomiaru o rząd wielkości. Czujnik wody ultraczystej UniCond jest wyposażony w technologię zarządzania inteligentnymi czujnikami pomiarowymi (ISM). Czujniki przewodności ISM oferują lepszą wydajność w porównaniu z czujnikami analogowymi dzięki wbudowanemu mikroprocesorowi, który przetwarza sygnał analogowy z czujnika na rzeczywisty pomiar parametru.
Czujniki wody ultraczystej UniCond zapewniają wysoką dokładność pomiaru, ponieważ ich integralna stała celi, czujnik temperatury i obwody pomiarowe są kalibrowane jako całość. Zmienna długość kabla, połączenia ani wymiana przetworników nie mają negatywnego wpływu, ponieważ obwody pomiarowe są niezależne i uszczelnione. Czujniki wysyłają bardzo mocny sygnał cyfrowy, który jest odporny na zakłócenia i degradację ze strony otaczającego sprzętu i środowiska.
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "Czujnik przewodności")
