
- Vattenkrav inom mikroelektronikindustrin
En mycket stor mängd vatten förbrukas i produktionen i en mikroelektronikanläggning och måste vara fri från föroreningar för att uppfylla den exakta renhet som krävs för maximal produktionsutbyte. Vattenförsörjningen måste fungera utan driftstopp för att undvika avbrott i tillverkningsprocessen, vilket kräver kontinuerlig onlineövervakning av vattenkvaliteten.
TOC är en av de viktigaste parametrarna för att säkerställa vattenkvaliteten i en sådan anläggning, eftersom den kan skada den produkt som tillverkas och leda till betydande förluster. Mätningens kritiska betydelse framgår av de många provtagningspunkterna under vattenreningsprocessen för TOC (figur 3) samt de mycket låga tillåtna gränsvärdena (tabell 1).











