Vill du veta hur silikaanalysatorer uppnår ultranoggrann detektering på under ppb-nivå?

Kiseldioxid är inte en enda form i vatten. Den förekommer i flera former, inklusive reaktiv (monomer), polymer och kolloidal, men onlineanalysatorer mäter endast den reaktiva fraktionen.

Den skillnaden är viktig eftersom reaktiv kiseldioxid är den form som deltar i beläggningsbildning på turbinblad och i avlagringar på waferytor. Det är också den form som svarar på den kolorimetriska reaktion som används i varje onlineanalysator för vattenkemi på marknaden.

Om du mäter kiseldioxid online formar tre begränsningar vad som faktiskt är möjligt:

icon

Koncentration

Kemi i kraftcykeln och UPW kräver båda detektion i sub-ppb-området. De flesta analytiska metoder ger inte en tydlig upplösning på den nivån.

icon

Interferens

Lösta arter, särskilt fosfat, reagerar med samma molybdatreagens som används för att detektera kisel och kan ge en konkurrerande färgreaktion om de inte kemiskt maskeras.

icon

Provens stabilitet

Mätning under ppb-nivå kräver en representativ, stabil provvolym vid varje cykel. Variationer i flöde eller tryck introducerar fel som överröstar signalen.

God kemi räcker inte på egen hand. En kolorimetrisk reaktion som fungerar perfekt på en laboratoriebänk kan ändå fallera som processmätning om konstruktionen omkring den inte håller måttet. Följande tre konstruktionsfunktioner för analysatorer skiljer en analysator i industriell klass från en laboratoriemetod:

Provkonditionering:

Ett överströmningskärl skapar ett konstant gravitationsmatat tryck vid provinloppet, oavsett fluktuationer i uppströmsflödet. Detta ger en representativ, stabil provvolym till reaktionskammaren vid varje cykel, vilket är förutsättningen för repeterbarhet under ppb-nivå. Utan detta skulle enbart hydraulljudet överstiga signalen.

Automatiserad mätcykel:

Hela sekvensen av provtagning, nollkalibrering, reagensaddition, färgutveckling, fotometrisk mätning och resultatrapportering körs utan operatörsingripande, med en cykel som kan justeras från 10 minuter och uppåt, där 20 minuter är typiskt. Modeller som kan mäta fosfat kör den andra cykeln med samma automatisering. Cykeltiden är tillräckligt kort för att göra utdata användbar för processstyrning, inte bara för registrering.

Övervakning av flera strömmar:

 Om du behöver täcka flera provpunkter - en UPW-poleringsloop i en fabrik, eller flera platser i en ång-vattencykel - kan en enda analysator sekvensera mellan dem och mäta var och en i tur och ordning. 2850Si stöder upp till fyra strömmar inom ett enda kompakt format, vilket ofta är skillnaden mellan att övervaka allt som är viktigt och att bara övervaka det som ryms i budgeten.

Vattendroppe på halvledaren

Optimering av kretsloppet för processvatten inom halvledartillverkning

Avancerade lösningar för att säkerställa ultraren vattenkvalitet

Laboratorieanalytiker som innehar en halvledare

Innovationer inom halvledartillverkning

Från bearbetning av kiselplattor till slutmontering

Short guide on three advantages of on-line silica monitoring of semiconductor ultrapure water.

On-line Silica Monitoring

For Semiconductor Ultrapure Water

Semiconductor Manufacturing Brochure

Analytical Excellence for Semiconductor Manufacturing Brochure

Key Solutions for Efficient and Safe Manufacturing Processes in the Semiconductor Industry

Jag vill...
Behöver du hjälp?
Vi finns här för att svara på dina frågor.