Vannsyklusen i halvlederproduksjon begynner med at råvann (1) bringes til anlegget, hvor det gjennomgår forbehandling (2), påfylling og polering (3). Når den er polert, distribueres UPW til fabrikasjonsanlegget (4 - Fab), hvor den brukes i flere verktøy og prosesser, som rengjøring, etsing og kjemisk-mekanisk planarisering (CMP). Etter bruk blir vannet ofte gjenvunnet (5) for resirkulering i UPW-kretsløpet, brukt i andre applikasjoner som kjeler og skrubbere (11), eller behandlet som avfall (6) basert på forurensningsnivået.
Organiske forurensninger i ultrarent vann overvåkes ofte i halvlederfabrikker. UV/Vis-spektrofotometri kan oppdage organiske forbindelser ved å måle deres absorpsjon ved spesifikke bølgelengder, og sikrer at vannet oppfyller høye renhetsstandarder.
pH- og ledningsevnemålinger er nøkkelparametere som påvirker suksessen til nedbørstrinnet i avløpsrensing. En av teknikkene for å analysere konsentrasjonen av tungmetaller er å måle absorpsjonen av spesifikke metallionekomplekser ved en passende bølgelengde. Kontroll av konsentrasjonsnivåene av tungmetaller sikrer at avløpsrensingsprosesser er effektive og i samsvar med miljøforskrifter.
Halvlederindustrien fokuserer i økende grad på å redusere sitt vannavtrykk. Lovgivning i ulike regioner krever høye nivåer av gjenbruk og gjenvinning av vann, ofte opptil 90 %. Effektiv segregering og behandling av avfallsstrømmer, som å nøytralisere fluorsyre og omdanne ammoniakk for trygg utslipp, er viktige steg i denne prosessen.
Effektiv vannkretsløpshåndtering i halvlederproduksjon handler ikke bare om å sikre høyeste kvalitet på UPW, men også om å opprettholde miljøansvar. Ved å benytte avansert sensorteknologi og følge strenge overvåkings- og vedlikeholdsprotokoller, kan halvlederanlegg optimalisere vannforbruket, sikre overholdelse av regulatoriske standarder og bidra til miljømessig bærekraft.
METTLER TOLEDO Thornton tilbyr en omfattende portefølje av sensorer og analysatorer, inkludert pH, ledningsevne, resistivitet, TOC, oppløst oksygen, mikrobiell deteksjon og silikasensorer. Disse instrumentene er avgjørende for å opprettholde UPW av høyeste kvalitet. Intelligent Sensor Management (ISM)-teknologi tilbyr prediktiv diagnostikk, adaptiv kalibrering og vedlikeholdsvarsler, noe som øker driftseffektiviteten og reduserer nedetid.
Offline vannanalyser utført punktlig bidrar til å verifisere nøyaktigheten til det nettbaserte overvåkingssystemet, med anvendelser for benkinstrumenter som tetthet, brytningsindeks, pH, ledningsevne, ioner og oppløst oksygen (DO), titrering og UV/Vis-målinger.
Vi forstår at presisjon og pålitelighet er avgjørende i arbeidet ditt, og våre løsninger er designet for å støtte deg gjennom hele prosessen. Vårt team er dedikert til å holde utstyret ditt i god drift slik at du kan fokusere på det som betyr mest – å oppnå banebrytende resultater. La oss samarbeide for å styrke innsatsen din og drive innovasjon innen halvlederfeltet.
