Chcete vědět, jak analyzátory oxidu křemičitého dosahují mimořádně přesné detekce v oblasti pod ppb?

Silikát není ve vodě jediná látka. Vyskytuje se v několika formách, včetně reaktivní (monomerní), polymerní a koloidní, ale online analyzátory měří pouze reaktivní frakci.

Na tomto rozlišení záleží, protože reaktivní silikát je forma, která se podílí na tvorbě úsad na lopatkách turbín a na depozici na povrchu waferů. Je to také forma, která reaguje na kolorimetrickou reakci používanou v každém online analyzátoru vodní chemie na trhu.

Pokud měříte silikát online, tři omezení určují, co je skutečně možné:

icon

Koncentrace

Chemie energetického cyklu a UPW obě vyžadují detekci v rozsahu pod ppb. Většina analytických metod v této úrovni nereaguje jednoznačně.

icon

Interference

Rozpuštěné látky, zejména fosfát, reagují se stejným molybdenanovým činidlem používaným k detekci křemíku a mohou vytvářet konkurenční barevnou reakci, pokud nejsou chemicky maskovány.

icon

Stabilita vzorku

Měření v oblasti sub-ppb vyžaduje reprezentativní a stabilní objem vzorku při každém cyklu. Kolísání průtoku nebo tlaku vnáší chyby, které přehluší signál.

Dobrá chemie sama o sobě nestačí. Kolorimetrická reakce, která na laboratorním stole funguje dokonale, může jako procesní měření selhat, pokud její technické provedení nezvládne provozní podmínky. Následující tři konstrukční vlastnosti analyzátoru odlišují analyzátor průmyslové třídy od laboratorní metody:

Úprava vzorku:

Přepadová komora vytváří stálý tlak přiváděný gravitačně na vstupu vzorku bez ohledu na kolísání průtoku na vstupu. To zajišťuje reprezentativní a stabilní objem vzorku v reakční komoře při každém cyklu, což je předpoklad opakovatelnosti v oblasti sub-ppb. Bez toho by samotný hydraulický šum přesahoval signál.

Automatizovaný měřicí cyklus:

Celá sekvence odběru vzorku, nulové kalibrace, přidání činidel, rozvoje barvy, fotometrického měření a odeslání výsledku probíhá bez zásahu obsluhy, v cyklu nastavitelném od 10 minut výše, přičemž obvyklá doba je 20 minut. Modely schopné měření fosforečnanů provádějí druhý cyklus se stejnou automatizací. Doba cyklu je dostatečně krátká, aby byl výstup užitečný pro řízení procesu, nikoli jen pro vedení záznamů.

Víceproudé monitorování:

 Pokud potřebujete pokrýt více odběrných míst - UPW lešticí smyčku v továrně na čipy nebo několik míst napříč parovodním a vodním cyklem - jediný analyzátor může jednotlivá místa postupně obsluhovat a měřit je střídavě. 2850Si podporuje až čtyři proudy z jednoho kompaktního půdorysu, což často rozhoduje mezi sledováním všeho podstatného a sledováním jen toho, co se vejde do rozpočtu.

Kapka vody na polovodiči

Optimalizace řízení vodního cyklu ve výrobě polovodičů

Pokročilá řešení pro zajištění ultra čisté kvality vody

Laboratorní analytik držící polovodič

Inovace ve výrobě polovodičů

Od zpracování waferů až po konečnou montáž

Stručný průvodce třemi výhodami on-line monitorování oxidu křemičitého v polovodičové ultračisté vodě.

On-line monitoring oxidu křemičitého

Pro polovodičovou ultračistou vodu

Semiconductor Manufacturing Brochure

Analytical Excellence for Semiconductor Manufacturing Brochure

Key Solutions for Efficient and Safe Manufacturing Processes in the Semiconductor Industry

Chci...
Need assistance?
Our team is here to achieve your goals. Speak with our experts.