การตรวจสอบน้ำบริสุทธิ์พิเศษในอุตสาหกรรมไมโครอิเล็กทรอนิกส์

การวิเคราะห์น้ำบริสุทธิ์พิเศษและกระบวนการสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์

อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ก้าวหน้าขึ้นอย่างรวดเร็ว พร้อมความต้องการชิปที่มีจำนวนมากขึ้นต่อแผ่นเวเฟอร์ และความหนาของเส้นที่แคบลงในช่วงเลขตัวเดียวของนาโนเมตร เพื่อบรรลุความท้าทายเหล่านี้ ผู้ผลิตจึงนำระบบการตรวจสอบและควบคุมน้ำที่มีความบริสุทธิ์พิเศษ (UPW) มาใช้ตรวจจับสิ่งเจือปนในระดับอิออนที่อาจส่งผลกระทบต่อผลผลิตของแผ่นเวเฟอร์ พารามิเตอร์ที่สำคัญ 2 ประการที่ต้องตรวจสอบในสายพานการผลิตแบบเรียลไทม์ เพื่อรับรองความบริสุทธิ์ของน้ำคือคาร์บอนอินทรีย์รวม (TOC) และความต้านทาน ความสามารถในการวัดค่าพารามิเตอร์เหล่านี้อย่างถูกต้องแม่นยำที่ระดับ PPB ย่อยในระบบ UPW จะช่วยให้ผู้ผลิตเซมิคอนดักเตอร์สามารถปรับปรุงคุณภาพผลิตภัณฑ์และเพิ่มผลผลิตให้สูงที่สุดได้

6000TOCi และ M800 นำเสนอเครื่องมือที่ทันสมัยที่สุดให้กับอุตสาหกรรมไมโครอิเล็กทรอนิกส์เพื่อการปฏิบัติตามการตรวจวัดและการควบคุมกระบวนการอย่างต่อเนื่องในสายการผลิตที่จำเป็นสำหรับระบบ UPW ระบบ TOC ของ METTLER TOLEDO นำเสนอต้นทุนต่อจุดการตรวจวัดที่ต่ำที่สุด พร้อมการตอบสนองที่รวดเร็วที่สุด การวินิจฉัยขั้นสูงที่ติดตั้งในตัว และการตรวจจับที่ระดับ PPD ย่อย

สำหรับเซ็นเซอร์ UniCond แล้ว ทรานสมิตเตอร์ 6000TOCi และ M800 นับว่าเป็นการลงทุนที่ยอดเยี่ยมที่สุดเพื่อลดความเสี่ยงและปรับปรุงผลการผลิตสำหรับอุตสาหกรรมไมโครอิเล็กทรอนิกส์

เอกสารไวท์เปเปอร์นี้ครอบคลุมเรื่องต่างๆ ดังต่อไปนี้:

ความสำคัญของการวิเคราะห์ความต้านทานและ TOC แบบออนไลน์
น้ำบริสุทธิ์พิเศษในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
การตรวจสอบความต้านทานและ TOC แบบต่อเนื่องเรียลไทม์

สอบภามราคา

โซลูชันการผลิตที่เหมาะสมจาก METTLER TOLEDO สำหรับอุตสาหกรรมไมโครอิเล็กทรอนิกส์ ได้แก่ เซ็นเซอร์ 6000TOCi เซ็นเซอร์ UniCond และทรานสมิตเตอร์ M800

6000TOCi คือเซ็นเซอร์ TOC ในสายการผลิตที่ให้ข้อมูลแบบเรียลไทม์และนำเสนอระบบการวินิจฉัยล่วงหน้า เซ็นเซอร์จะตรวจวัดทุกวินาที เพื่อช่วยในการวิเคราะห์ TOC ของระบบน้ำอย่างต่อเนื่อง 6000TOCi เหมาะเป็นอย่างยิ่งกับทุกการผลิตที่ต้องใช้น้ำบริสุทธิ์ และให้ความสำคัญกับการตรวจจับการเปลี่ยนแปลงระดับของ TOC อย่างรวดเร็ว นอกจากนี้เซ็นเซอร์ยังให้บันทึกที่เก็บประวัติและสถิติที่สำคัญอย่างละเอียดอีกด้วย

เซ็นเซอร์ UniCond จาก METTLER TOLEDO นำเสนอความถูกต้องแม่นยำที่สามารถทำซ้ำได้ในระดับสูง เซ็นเซอร์ UniCond จะติดตั้งเข้ากับการจัดการเซ็นเซอร์แบบอัจฉริยะ (ISM) เซ็นเซอร์ ISM จะนำเสนอประสิทธิภาพที่ได้รับการปรับปรุงให้เหนือกว่าหัววัดค่าแบบแอนะล็อกหลายประการ รวมถึงไมโครโปรเซสเซอร์ในตัวเครื่องที่จะแปลงสัญญาณแอนะล็อกจากเซ็นเซอร์เป็นการตรวจวัดพารามิเตอร์จริง

ทรานสมิตเตอร์ M800 จาก METTLER TOLEDO จะเติมเต็มระบบการตรวจวัดให้สมบูรณ์ นี่คือทรานสมิตเตอร์แบบหลายพารามิเตอร์ ซึ่งนำเสนอความยืดหยุ่นในการติดตั้งและลดความซับซ้อนของการตรวจวัดเพื่อควบคุมกระบวนการ อีกทั้งยังสามารถตรวจสอบเซ็นเซอร์ในสายการผลิตได้ตั้งแต่หนึ่ง สอง หรือสี่ตัวพร้อมกัน

เรียนรู้เพิ่มเติม

Silica Analyzer for Microelectronics

Low-ppb level silica is vital in the production of microelectronics, but the frequent maintenance common to most analyzers can be frustrating. This ca...