A félvezetőgyártás vízkörforgása azzal kezdődik, hogy a nyersvizet (1) a létesítménybe szállítják, ahol előkezelésen (2), pótláson és finomításon (3) esik át. A finomítás után az ultratiszta vizet eljuttatják a gyártóüzembe (4 – Fab), ahol számos berendezésben és folyamatban felhasználják, például tisztításhoz, maratáshoz és kémiai-mechanikus síkozáshoz (CMP). Használat után a vizet gyakran visszanyerik (5) az UPW-körben történő újrahasznosítás céljából, más alkalmazásokban, például kazánokban és mosóberendezésekben (11) használják fel, vagy szennyezettségi szintjétől függően hulladékként kezelik (6).
Az ultratiszta vízben található szerves szennyezőanyagokat általában félvezető gyárakban figyelik. Az UV/Vis spektrofotometria képes érzékelni szerves vegyületeket azáltal, hogy méri azok elnyelődését meghatározott hullámhosszaknál, biztosítva, hogy a víz megfeleljen a magas tisztasági követelményeknek.
A pH és vezetőképesség mérések kulcsfontosságú paraméterek, amelyek befolyásolják a csapadékozási lépés sikerét a szennyvízkezelésben. Az egyik technika a nehézfémek koncentrációjának elemzésére a specifikus fémionkomplexek elnyelőképességének mérése megfelelő hullámhosszon. A nehézfémek koncentrációjának szabályozása biztosítja, hogy a szennyvízkezelési folyamatok hatékonyak és megfeleljenek a környezetvédelmi előírásoknak.
A félvezetőipar egyre inkább a vízfelület csökkentésére koncentrál. A különböző régiók jogszabályai előírják a víz újrahasznosítását és helyreállítását, gyakran akár 90%-ot. A hulladékáramok hatékony szegregációja és kezelése, például a hidrofluorsav semlegesítése és az ammónia biztonságos kibocsátás érdekében történő átalakítása, kritikus lépések ebben a folyamatban.
A hatékony vízciklus-menedzsment a félvezetőgyártásban nemcsak az ultratiszta víz legmagasabb minőségének biztosításáról szól, hanem a környezeti felelősségvállalásról is. Fejlett szenzortechnológiák alkalmazásával és szigorú monitorozási és karbantartási protokollok betartásával a félvezető létesítmények optimalizálhatják vízfelhasználásukat, biztosíthatják a szabályozási szabványoknak való megfelelést, és hozzájárulhatnak a környezeti fenntarthatósághoz.
METTLER TOLEDO Thornton átfogó portfóliót kínál szenzorokból és analizátorokból, beleértve a pH-t, vezetőképességet, ellenállást, TOC-t, oldott oxigént, mikrobiális detektálást és szilícium-szenzorokat. Ezek a műszerek elengedhetetlenek a legmagasabb minőségű UPW fenntartásához. Az Intelligens Szenzorkezelő (ISM) technológia előrejelző diagnosztikát, adaptív kalibrációt és karbantartási riasztásokat kínál, növelve a működési hatékonyságot és csökkentve a leállásokat.
Az offline vízelemzések pontosan segítenek igazolni az online megfigyelő rendszer pontosságát, amelyek olyan munkaasztali eszközökhöz is alkalmazhatók, mint a sűrűség, törésmutató, pH, vezetőképesség, ionok és oldott oxigén (DO), titráció és UV/VIS mérések.
Tisztában vagyunk azzal, hogy munkájában elengedhetetlen a pontosság és a megbízhatóság, ezért megoldásainkat úgy alakítottuk ki, hogy minden lépésnél támogatást nyújtsanak Önnek. Csapatunk elkötelezett amellett, hogy berendezései zökkenőmentesen működjenek, így Ön a legfontosabbra koncentrálhat: az úttörő eredmények elérésére. Dolgozzunk együtt, hogy eredményeit tovább javítsuk, és előmozdítsuk az innovációt a félvezetőiparban.
