Vil du vide, hvordan silikaanalysatorer opnår ultrapræcis detektion i sub-ppb-området?

Silica er ikke en enkelt art i vand. Det forekommer i flere former, herunder reaktivt (monomert), polymerisk og kolloidalt, men onlineanalysatorer måler kun den reaktive fraktion.

Den sondring er vigtig, fordi reaktiv silica er den form, der deltager i aflejringskemien på turbineblade og i aflejring på waferoverflader. Det er også den form, der reagerer på den kolorimetriske reaktion, som bruges i alle online vandkemianalysatorer på markedet.

Hvis du måler silica online, er det tre begrænsninger, der former, hvad der faktisk er muligt:

icon

Koncentration

Kemien i kraftcyklussen og UPW kræver begge detektion i sub-ppb-området. De fleste analytiske metoder kan ikke adskille dette område tydeligt.

icon

Interferens

Opløste stoffer, især fosfat, reagerer med det samme molybdat-reagens, som bruges til at detektere silica, og kan give en konkurrerende farvereaktion, hvis de ikke er kemisk maskeret.

icon

Prøvestabilitet

Sub-ppb-måling kræver et repræsentativt, stabilt prøvevolumen i hver cyklus. Svingninger i flow eller tryk medfører fejl, som overdøver signalet.

God kemi er ikke tilstrækkeligt i sig selv. En kolorimetrisk reaktion, der fungerer perfekt på en laboratoriebænk, kan stadig fejle som procesmåling, hvis ingeniørarbejdet omkring den ikke holder. De følgende tre analyzerdesignfunktioner adskiller en analysator i industriel kvalitet fra en laboratoriemetode:

Prøvekonditionering:

Et overløbskammer skaber et konstant, gravitationsdrevet tryk ved prøveindløbet, uanset udsving i opstrøms flow. Det leverer et repræsentativt, stabilt prøvevolumen til reaktionskammeret i hver cyklus, hvilket er forudsætningen for sub-ppb-gentagelsesnøjagtighed. Uden det ville den hydrauliske støj alene overstige signalet.

Automatiseret målecyklus:

Hele sekvensen med prøveudtagning, nulkalibration, tilsætning af reagens, farveudvikling, fotometrisk måling og resultatrapportering kører uden operatørindgriben på en cyklus, der kan justeres fra 10 minutter og opefter, med 20 minutter som typisk. Modeller med fosfatfunktion kører den anden cyklus på samme automatisering. Cyklustiden er kort nok til, at outputtet er nyttigt til processtyring og ikke kun til journalføring.

Overvågning af flere strømme:

 Hvis du skal dække flere prøvepunkter - et UPW-poleringsloop i en fabrik eller flere placeringer i et damp-vand-kredsløb - kan en enkelt analysator sekventere mellem dem og måle hver enkelt i rotation. 2850Si understøtter op til fire strømningsveje fra et enkelt kompakt fodaftryk, hvilket ofte er forskellen mellem at overvåge alt det, der betyder noget, og kun at overvåge det, der passer ind i budgettet.

vanddråbe på halvleder

Optimering af vandkredsløbsstyring i halvlederproduktion

Avancerede løsninger til sikring af ultraren vandkvalitet

Laboratorieanalytiker med en halvleder i hånden

Innovationer inden for halvlederfremstilling

Fra waferbehandling til slutmontering

Short guide on three advantages of on-line silica monitoring of semiconductor ultrapure water.

On-line Silica Monitoring

For Semiconductor Ultrapure Water

Semiconductor Manufacturing Brochure

Analytical Excellence for Semiconductor Manufacturing Brochure

Key Solutions for Efficient and Safe Manufacturing Processes in the Semiconductor Industry

Jeg vil gerne...
Har du brug for hjælp?
Vi er her for at besvare dine spørgsmål.