O ciclo da água na fabricação de semicondutores começa com a água bruta (1) sendo levada para a instalação, onde passa por pré-tratamento (2), maquiagem e polimento (3) etapas. Uma vez polido, o UPW é distribuído para a planta de fabricação (4 - Fab), onde é utilizado em múltiplas ferramentas e processos, como limpeza, gravura e planarização químico-mecânica (CMP). Após o uso, a água é frequentemente recuperada (5) para reciclagem dentro do circuito UPW, usada em outras aplicações como caldeiras e esfregadores (11), ou tratada como lixo (6) com base em seus níveis de contaminação.
Contaminantes orgânicos em água ultrapura são comumente monitorados em fábricas de semicondutores. A espectrofotometria UV/Vis pode detectar compostos orgânicos medindo sua absorção em comprimentos de onda específicos, garantindo que a água atenda aos padrões de alta pureza.
Medições de pH e condutividade são parâmetros-chave que impactam o sucesso da etapa de precipitação no tratamento de águas residuais. Uma das técnicas para analisar a concentração de metais pesados é medir a absorção de complexos específicos de íons metálicos em um comprimento de onda adequado. Controlar os níveis de concentração de metais pesados garante que os processos de tratamento de águas residuais sejam eficazes e estejam em conformidade com as regulamentações ambientais.
A indústria de semicondutores está cada vez mais focada em reduzir sua pegada hídrica. Legislações em várias regiões exigem altos níveis de reutilização e recuperação de água, frequentemente de até 90%. A segregação e o tratamento eficazes dos fluxos de resíduos, como neutralizar o ácido fluorídrico e converter amônia para descarga segura, são etapas críticas nesse processo.
A gestão eficaz do ciclo da água na fabricação de semicondutores não é apenas garantir a mais alta qualidade do UPW, mas também manter a responsabilidade ambiental. Ao empregar tecnologia avançada de sensores e aderir a rigorosos protocolos de monitoramento e manutenção, as instalações de semicondutores podem otimizar o uso de água, garantir conformidade com normas regulatórias e contribuir para a sustentabilidade ambiental.
A METTLER TOLEDO Thornton oferece um portfólio abrangente de sensores e analisadores, incluindo sensores de pH, condutividade, resistividade, TOC, oxigênio dissolvido, detecção microbiana e sensores de sílica. Esses instrumentos são essenciais para manter a UPW da mais alta qualidade. A tecnologia de Gerenciamento Inteligente de Sensores (ISM) oferece diagnósticos preditivos, calibração adaptativa e alertas de manutenção, aumentando a eficiência operacional e reduzindo o tempo de inatividade.
Análises de água offline realizadas pontualmente ajudam a verificar a precisão do sistema de monitoramento online, com aplicações para instrumentos de bancada como densidade, índice de refração, pH, condutividade, íons e oxigênio dissolvido (DO), titulação e medições UV/Vis.
Entendemos que precisão e confiabilidade são essenciais no seu trabalho, e nossas soluções foram projetadas para apoiá-lo em cada etapa do caminho. Nossa equipe é dedicada a manter seus equipamentos funcionando sem problemas para que você possa focar no que realmente importa—alcançar resultados inovadores. Vamos trabalhar juntos para aprimorar seus esforços e impulsionar a inovação no campo dos semicondutores.
