โมเลกุลที่เป็นกลางของน้ำบริสุทธิ์เป็นตัวนําที่แย่มาก แต่เมื่อไอออนละลายในนั้น ความต้านทานจะลดลง เนื่องจากไอออนทําหน้าที่เป็นตัวพาประจุเคลื่อนที่ที่สามารถนําอิเล็กตรอนผ่านน้ำได้ ดังนั้นการวัดค่าความต้านทานจึงเป็นหนึ่งในการวิเคราะห์ที่สําคัญในการรับรองคุณภาพ UPW ในการผลิตเวเฟอร์และมีบทบาทสําคัญในขั้นตอนกระบวนการต่อไปนี้:

icon

Epitaxy

น้ำที่มีความบริสุทธิ์สูงและมีค่าสภาพต้านทานไฟฟ้าสูงเป็นสิ่งจำเป็นอย่างยิ่งในขั้นตอนนี้ เพื่อให้แน่ใจว่าสิ่งเจือปนจะไม่เข้าไปปะปนในชั้นเอพิแทกซี หากน้ำมีการปนเปื้อนอาจทำให้คุณสมบัติทางไฟฟ้าและความสมบูรณ์ของโครงสร้างของฟิล์มเอพิแทกซีเปลี่ยนแปลงไป

icon

Photolithography

ค่าสภาพต้านทานไฟฟ้ามีความสำคัญมากในขั้นตอนนี้ เนื่องจากมีการใช้น้ำบริสุทธิ์ยิ่งยวดในการล้างแผ่นเวเฟอร์หลังจากขั้นตอนการเคลือบและล้างสารไวแสง (Photoresist) น้ำที่มีค่าสภาพต้านทานไฟฟ้าต่ำจะช่วยป้องกันการปนเปื้อนของไอออน ซึ่งเป็นสาเหตุให้เกิดความชำรุดเสียหายหรือการผิดเพี้ยนของรูปแบบวงจร (Pattern)

icon

Etching and Stripping

ทั้งสองขั้นตอนต้องใช้น้ำบริสุทธิ์ยิ่งยวดเพื่อล้างแผ่นเวเฟอร์สำหรับกำจัดสารเคมีตกค้าง การตรวจสอบสภาพต้านทานไฟฟ้าช่วยให้มั่นใจได้ว่าน้ำที่ใช้ปราศจากสิ่งปนเปื้อนที่อาจส่งผลต่อลักษณะของการกัดเซาะ (Etch profiles) หรือทิ้งคราบตกค้างไว้

icon

Chemical Mechanical Planarization - CMP

สารละลายขัด (Slurry) และน้ำที่ใช้ล้างในกระบวนการ CMP ต้องเป็นน้ำบริสุทธิ์ยิ่งยวดที่มีค่าสภาพต้านทานไฟฟ้าสูง เพื่อหลีกเลี่ยงการปนเปื้อนของอนุภาคและสารเจือปนที่เป็นไอออน ซึ่งอาจก่อให้เกิดรอยขีดข่วนหรือความชำรุดเสียหายบนพื้นผิวของแผ่นเวเฟอร์ได้

ไม่มีการตรวจวัดใดเพียงอย่างเดียวที่จะสามารถบ่งบอกภาพรวมของคุณภาพน้ำบริสุทธิ์สูง (Ultrapure Water) ได้ทั้งหมด ค่าความต้านทานไฟฟ้า (Resistivity) จึงต้องทำงานร่วมกับพารามิเตอร์แบบออนไลน์อื่นๆ อีกหลายตัว เพื่อให้มั่นใจในความสมบูรณ์ของกระบวนการผลิต

เลือกพารามิเตอร์เพื่ออ่านรายละเอียดเพิ่มเติม:

Measure resistivity

Resistivity Measurement with Digital Sensors

Case Study on North American Semiconductor Fabrication Plant

image

การตรวจสอบ Total Organic Carbon ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์เพื่อเพิ่มผลผลิตชิป

ความเข้าใจผลกระทบของสารอินทรีย์คาร์บอนในปริมาณน้อยในการผลิตอุปกรณ์

อธิบายเซนเซอร์วัดค่าการนําไฟฟ้า

อธิบายเซนเซอร์วัดค่าการนําไฟฟ้า

ตั้งแต่เซนเซอร์สองอิเล็กโทรดไปจนถึงเซ็นเซอร์เหนี่ยวนำ: ทําความเข้าใจประเภทของเซนเซอร์วัดค่าการนําไฟฟ้า วิธีการทํางาน และการใช้งาน

ฉันต้องการที่จะ...
มีอะไรให้เราช่วยได้บ้าง?
ทีมผู้เชี่ยวชาญของเราพร้อมช่วยเหลือในการเลือกสินค้าให้ตรงกับความต้องการ