Vodni cikel v proizvodnji polprevodnikov se začne s surovo vodo (1), ki se pripelje v obrat, kjer preide faze predobdelave (2), izdelave in poliranja (3). Ko je poliran, se UPW razdeli v proizvodni obrat (4 - Fab), kjer se uporablja v različnih orodjih in postopkih, kot so čiščenje, jedkanje in kemično-mehanska planarizacija (CMP). Po uporabi se voda pogosto ponovno prebere (5) za recikliranje znotraj zanke UPW, uporablja se v drugih aplikacijah, kot so kotli in čistilniki (11), ali pa se obravnava kot odpadek (6) glede na raven onesnaženja.
Organska onesnaževala v ultračisti vodi se pogosto spremljajo v polprevodniških tovarnah. UV/Vis spektrofotometrija lahko zazna organske spojine z merjenjem njihove absorpcije pri določenih valovnih dolžinah, kar zagotavlja, da voda izpolnjuje visoke standarde čistosti.
Meritve pH inprevodnosti so ključni parametri, ki vplivajo na uspeh koraka padaline pri čiščenju odpadnih voda. Ena od tehnik za analizo koncentracije težkih kovin je merjenje absorpcije specifičnih kovinskih ionskih kompleksov pri ustrezni valovni dolžini. Nadzor koncentracij težkih kovin zagotavlja, da so postopki čiščenja odpadnih voda učinkoviti in skladni z okoljskimi predpisi.
Polprevodniška industrija se vse bolj osredotoča na zmanjšanje svojega vodnega odtisa. Zakonodaja v različnih regijah zahteva visoko stopnjo ponovne uporabe in melioracije vode, pogosto do 90 %. Učinkovita segregacija in obdelava odpadnih tokov, kot sta nevtralizacija fluorovodikove kisline in pretvorba amonijaka za varen izpust, sta ključna koraka v tem procesu.
Učinkovito upravljanje vodnega cikla v proizvodnji polprevodnikov ni le zagotavljanje najvišje kakovosti UPW, temveč tudi ohranjanje okoljske odgovornosti. Z uporabo napredne senzorske tehnologije in upoštevanjem strogih protokolov spremljanja in vzdrževanja lahko obrati za polprevodnike optimizirajo porabo vode, zagotovijo skladnost z regulativnimi standardi in prispevajo k okoljski trajnosti.
METTLER TOLEDO Thornton ponuja obsežen portfelj senzorjev in analizatorjev, vključno s pH, prevodnostjo, upornostjo, TOC, raztopljenim kisikom, mikrobno detekcijo in silicijevimi senzorji. Ti instrumenti so ključni za vzdrževanje najvišje kakovosti UPW. Tehnologija inteligentnega upravljanja senzorjev (ISM) ponuja napovedno diagnostiko, prilagodljivo kalibracijo in opozorila o vzdrževanju, kar povečuje operativno učinkovitost in zmanjšuje izpade.
Offline analize vode, izvedene pravočasno, pomagajo preveriti natančnost linijskega sistema za spremljanje, z aplikacijami za laboratorijske instrumente, kot so gostota, lomni količnik, pH, prevodnost, ioni in raztopljen kisik (DO),titracija ter meritve UV/vis.
Zavedamo se, da sta natančnost in zanesljivost bistveni pri vašem delu, naše rešitve pa so zasnovane tako, da vas podpirajo na vsakem koraku. Naša ekipa je predana temu, da vaša oprema deluje nemoteno, da se lahko osredotočite na tisto, kar je najpomembnejše – doseganje prelomnih rezultatov. Sodelujmo na izboljšanju vaših prizadevanj in spodbujanju inovacij na področju polprevodnikov.
