Nevtralne molekule čiste vode so zelo slabi prevodniki, a ko se ioni v njej raztopijo, upornost pade. To je zato, ker ioni delujejo kot mobilni nosilci naboja, ki lahko prenašajo elektrone skozi vodo. Tako je merjenje upornosti ena ključnih analitik za zagotavljanje kakovosti UPW pri proizvodnji rezin in ima ključno vlogo v naslednjih korakih procesa:

icon

Epitaksija

Voda z visoko čistostjo in visoko upornostjo je tukaj ključna, da se zagotovi, da se nečistoče ne vključijo v epitaksialne plasti. Onesnažena voda lahko spremeni električne lastnosti in strukturno celovitost epitaksialnega filma.

icon

Fotolitografija

Upornost je ključna v tem koraku, saj se ultra-čista voda uporablja za izpiranje rezin po nanosu in razvoju fotoresistov. Voda z nizko upornostjo preprečuje ionsko onesnaženje, ki lahko povzroči napake ali popačenja vzorcev.

icon

Jedkanje in odstranjevanje

Oba koraka zahtevata ultra-čisto vodo za izpiranje rezin, da se odstranijo kemični ostanki. Spremljanje upornosti zagotavlja, da je uporabljena voda brez onesnaževal, ki bi lahko vplivala na profile jedkanja ali pustila ostanke.

icon

Kemijsko-mehanska planarizacija (CMP)

Kaša in voda za izpiranje v CMP morata biti ultračista z visoko upornostjo, da se prepreči kontaminacija z delci in ionske nečistoče, ki lahko povzročijo praske ali napake na površini rezine.

Noben sam merilnik ne zajame celotne slike kakovosti ultrapure vode. Upornost deluje skupaj z več drugimi spletnimi parametri, da zagotovi integriteto procesa.

Izberite parameter za raziskovanje:

Merilnik upornosti

Merjenje upornosti z digitalnimi senzorji

Študija primera severnoameriškega obrata za izdelavo polprevodnikov

slika

Spremljanje skupnega organskega ogljika v proizvodnji polprevodnikov za izboljšan donos čipov

Razumevanje vpliva sledov organskega ogljika v izdelavi naprav

Senzorji prevodnosti pojasnjeni

Senzorji prevodnosti pojasnjeni

Od senzorjev z dvema elektrodama do induktivnih senzorjev: razumevanje vrst senzorjev prevodnosti, kako delujejo in njihove uporabe

Želim...
Need assistance?
Our team is here to achieve your goals. Speak with our experts.