Kostnaden ved unøyaktighet hos halvlederprodusenter

Resistivitetsmåling i ultraprent vann

Halvlederprodusenter flytter grensene for ultraprent vann. Etter hvert som nodetoleransene blir mindre, må vannets renhet øke for å beskytte wafere. Derfor må water analytics oppdage selv svært små endringer i kvalitet som kan påvirke sluttutbyttet.

Resistivity måles gjennom hele vannrenseprosessen og i systemene nedstrøms. Som en av de viktigste analytics er resistivity en godkjennings- eller avvisningsmåling for å slippe vann videre til produksjon. Hvis resistivity synker, kan sluttutbyttet av wafere reduseres. For å beskytte utbyttet stenger anlegg derfor ofte vann til produksjon i stedet for å sende vann av dårlig kvalitet videre nedstrøms. Toleransene for resistivity er strammere enn noen gang, der vann med 18,00 MΩ-cm regnes som grensen for ionisk renhet. Men nå går bransjemålet mot 18,18 MΩ-cm.

Nøyaktige og stabile resistivitetssensorer er avgjørende for godt kontrollerte systemer og pålitelige, datadrevne beslutninger. UPW UniCond™-sensoren er en resistivitetssensor i toppklasse med enestående stabilitet og nøyaktighet. I denne artikkelen ser vi nærmere på noen scenarier som er vanlige i semiconductor manufacturing-anlegg, sammen med hvordan UPW UniCond kan bidra til å løse dem.

I disse to første scenariene er du eier av et vannsystem og ønsker å være sikker på at du ikke sender vann av dårlig kvalitet videre nedstrøms. Resistivitetsalarmen din er satt til industristandarden 18,00 MΩ-cm. Hvis målingen er over 18,00 MΩ-cm, produserer systemet vann med tilstrekkelig ionisk renhet til å beskytte utbyttet.

Hvis målingen går under 18,00 MΩ-cm, må du stenge vannsystemet for å forhindre tap i utbytte. Resistivitetssensoren du bruker har en nøyaktighetsspesifikasjon på 1 %, noe som er svært vanlig i markedet, men dobbelt så høyt som for en UPW UniCond. La oss se hvordan UPW UniConds langt strengere spesifikasjon på 0,5 % gir bedre beskyttelse når det gjelder å forhindre kostbare nedstengninger og enda mer kostbare konsekvenser for utbyttet.

Scenario 1: Fals trygghetsfølelse

Se for deg at vannkvalitetens resistivity synker til 17,90 MΩ-cm, noe som er utenfor toleransen. Med en nøyaktighetsspesifikasjon på 1 % kan resistivity-sensoren din rapportere opptil 18,08 MΩ-cm, og lure deg til å tro at vannsystemet fungerer normalt (se figur 1).

Uten heldig, i dette scenariet ville vann av dårlig kvalitet blitt sendt videre nedstrøms uten å bli oppdaget. Men hvis du brukte en UPW UniCond, ville du aldri rapportert vann med 17,90 MΩ-cm som vann med 18,00 MΩ-cm. En strammere nøyaktighetsspesifikasjon reduserer systemrisikoen og øker tilliten til at vannet oppfyller kvalitets-kravene.

Scenario 2: Unngå kostbare nedstengninger

Anta igjen at du har en resistivitetssensor med en nøyaktighetsspesifikasjon på 1 %. Sensoren begynner plutselig å vise 17,96 MΩ-cm. Du bestemmer deg for å stenge vannsystemet for å beskytte utbyttet. Nedstengningen varer i 24 timer fordi det er nødvendig med en full undersøkelse for å analysere vannsystemet og forstå årsaken. Hver time systemet ikke produserer vann, koster selskapet ditt 50 000 dollar.

Etter en hel dag konkluderer undersøkelsen med at det ikke var noe problem med vannsystemet. Vannkvaliteten var 18,15 MΩ-cm, men resistivitetsmålingen på 17,96 MΩ-cm—innenfor spesifikasjonen til resistivitetssensoren—var feil (se figur 2). Den falske målingen og den påfølgende nedstengningen kostet selskapet ditt 1,2 millioner dollar.

Hvis du hadde brukt en UPW UniCond-sensor, ville denne situasjonen vært unngått. Med en nøyaktighetsspesifikasjon på 0,5 % ville UPW UniCond ikke vise vann på 18,15 MΩ-cm som utenfor toleranse. Kort sagt hjelper UPW UniCond deg med å beskytte utbyttet og vannsystemet mot uventede, kostbare nedstengninger.

I dette scenariet kan du igjen tenke deg at du er eieren av vannsystemet. Du ser på trenddata for resistivitet og prøver å avgjøre om det var en liten utslipp av en ionisk forurensning som gikk gjennom rensetrinnene.

Med standard Resistivity Sensor-er er det utfordrende å skille mellom støy og små endringer i resistivitet. Etter hvert som bransjen streber etter å oppdage stadig mindre endringer i vannkvaliteten, må analysene forbedres tilsvarende.

Vi testet en konkurrerende resistivitetssensor side om side med en UPW UniCond i det samme vannet. Resultatene viste at UPW UniCond var ti ganger mer stabil enn konkurransesensoren.

Deretter injiserte vi elektrisk støy direkte inn i UPW UniConds målekretser for å simulere tøffere forhold. Dette ga bare litt mer ustabilitet enn UPW UniConds grunnnivå uten støyinjeksjon.

Som eier av et vannsystem, hvordan bør du tolke resistivitetsmålingene? Bør du lese det som 18,12 MΩ-cm eller 18,14 MΩ-cm? UPW UniCond leser 18,19 MΩ-cm konsekvent i denne testen, og gir ingen rom for feil.

Ettersom spesifikasjonene for semiconductor manufacturing blir stadig strengere, må analysene holde tritt. Fordi analysene overvåker produkter verdt millioner av dollar, bør bare de mest pålitelige analysene vurderes.

For mer informasjon om UPW UniCond, besøk lenken nedenfor.

www.mt.com/UPWUniCond

Søkeforslag

Kostnaden ved unøyaktighet hos halvlederprodusenter

Resistivitetsmåling i ultraprent vann

Scenario 1: Fals trygghetsfølelse

Scenario 2: Unngå kostbare nedstengninger

Scenario 3: Støyende målinger

For å lære mer, les disse ressursene:

Ledningsevnesensorer forklart

Analytical Excellence for Semiconductor Manufacturing Brochure

Mikrobiell telling: Rask deteksjon av mikroelektronisk renhet

Silikaovervåking: Presisjon ved deler per milliard

Resistivitet: Nøkkelen til høyere skiveutbytte og forurensningsfri produksjon av halvledere

Søkeforslag

Kostnaden ved unøyaktighet hos halvlederprodusenter

Resistivitetsmåling i ultraprent vann

Scenario 1: Fals trygghetsfølelse

Scenario 2: Unngå kostbare nedstengninger

Scenario 3: Støyende målinger

For å lære mer, les disse ressursene:

Ledningsevnesensorer forklart

Analytical Excellence for Semiconductor Manufacturing Brochure

Mikrobiell telling: Rask deteksjon av mikroelektronisk renhet

Silikaovervåking: Presisjon ved deler per milliard

Resistivitet: Nøkkelen til høyere skiveutbytte og forurensningsfri produksjon av halvledere

Be om prisoverslag eller informasjonFå et prisoverslagPrisoverslag med en gangLøsningsinformasjonRequest Online Demo