大手半導体メーカーが水質モニタリングを強化

半導体メーカーにとって、超純水（UPW）は極めて重要なユーティリティです。高い精確性と製品歩留まりを維持するには、あらゆる段階で厳格な仕様を満たす水純度が求められます。米国中西部北部に拠点を置く大手メーカーにとって、このレベルの純度を確保することは、業務の中核となる必須要件です。

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この工場では最近、ウェーハの生産量を日量2万枚から4万枚へと倍増させる大幅な拡張が行われました。この成長を支えるため、同社は最新の計測機器と自動化システムを導入して工場を近代化しました。この移行期間中、メトラー・トレドのソントン製品事業部は、工場の老朽化したナトリウムおよびシリカ分析計の極めて重要なアップグレード経路を提案しました。

このメーカーは、メンテナンスがますます困難になっていた他社製の古いモデルを使用していました。新しいプロセススキッド向けに、より信頼性が高くメンテナンスの手間がかからないソリューションへの移行を検討していた同社は、ソントン製品事業部に相談しました。メトラー・トレドのパフォーマンスに対する長年の信頼に基づき、同社は大量生産の要件に合わせたデジタル測定ツールの包括的なスイートを選択しました。

アップグレードには、以下の一連の専門的な分析計およびセンサが含まれています。

2300Na と 2850Si 分析計は、微量汚染物質の常時オンラインモニタリングを実現します。予測診断、調整可能な測定サイクル、最小限の試薬使用量などの機能により、オペレーターは絶え間ない機器の保守に追われることなく、生産に集中することができます。

メトラー・トレドのIntelligent Sensor Management (ISM™)技術とISM Core™ソフトウェアにより、顧客はプロセスラインから離れた場所でのpHセンサーの校正とメンテナンス、リアルタイムのセンサ健全性診断、および電子文書化が可能になり、精確性の確保とダウンタイムの短縮というメリットをお客様に提供します。

サポートとサービス

メトラー・トレドのソントン製品事業部は、ハードウェアの提供にとどまらず、設置、校正、予防メンテナンスを含むフルサービスパッケージを提供しました。24ヶ月の延長ケアサービス契約により、メーカーが長期にわたって安定したパフォーマンスを維持するために必要な技術サポートを確実に受けられる体制を整えています。

実証された業界のパートナーシップ

水質がマイクロエレクトロニクスの歩留まりに直接影響を与える環境において、このプロジェクトは最新のセンサテクノロジーがどのように生産を安定させるかを示しています。メトラー・トレドのソントン製品事業部は、極めて重要 UPW監視とプロセスの完全性に求められる精密な測定機器を提供し続けています。

半導体成功に向けたUPWモニタリングの拡張

1日あたり2万枚から4万枚のウェーハへの移行をサポートするため、米国の大手半導体メーカーは超純水（UPW）システムを近代化しました。Thorntonのデジタルナトリウムおよびシリカ分析計を導入し、老朽化した機器を刷新することで、予測診断と最小限の試薬使用による高精度なモニタリングをどのように実現したかをご覧ください。