 |
Industri semikonduktor berkembang pesat dengan meningkatnya permintaan atas chip per wafer dan lebar saluran yang lebih sempit dalam rentang nanometer satu digit. Untuk memenuhi tantangan ini, pemantauan dan kendali air ultramurni (UPW) harus diterapkan untuk mendeteksi ketidakmurnian ionik yang bisa berdampak negatif pada hasil wafer. Dua parameter penting yang harus dipantau secara on-line dan secara real-time untuk menjamin kemurnian air adalah Total Organik Karbon (TOC) dan resistivitas. Kemampuan untuk mengukur parameter tersebut secara akurat pada tingkat sub-ppb dalam sistem UPW produsen semikonduktor dapat meningkatkan kualitas produk dan memaksimalkan hasil.
Sensor 6000TOCi dan M800 menghadirkan alat yang paling canggih bagi industri mikroelektronika untuk memenuhi pengukuran berkelanjutan secara on-line dan kontrol proses yang diperlukan untuk sistem UPW. Sistem METTLER TOLEDO TOC menawarkan biaya terendah per titik pengukuran dengan respons tercepat, diagnostik terintegrasi canggih, dan deteksi sub-ppb.
Sensor UniCond, sensor 6000TOCi, dan pemancar M800 merupakan investasi terbaik untuk mengurangi risiko dan meningkatkan hasil produksi bagi industri mikroelektronika.
Laporan resmi ini mencakup sejumlah topik berikut:
- Peran penting analisis TOC dan resistivitas secara on-line
- Air ultramurni di manufaktur semikonduktor
- Pemantauan TOC dan resistivitas berkelanjutan secara real-time
Solusi produk ideal dari METTLER TOLEDO untuk industri mikroelektronika adalah sensor 6000TOCi, sensor UniCond, dan pemancar M800.
6000TOCi merupakan sensor TOC on-line, yang menyediakan data secara real-time dan menawarkan diagnostik prediktif. Sensor tersebut melakukan pengukuran setiap detik, sehingga analisis TOC sistem air dapat dilakukan secara terus-menerus. Sensor 6000TOCi sangat ideal bagi seluruh aplikasi air murni yang sangat memerlukan deteksi cepat pada perubahan kadar TOC. Sensor ini menghadirkan pencatatan riwayat dan statistik utama secara komprehensif.
Sensor UniCond dari METTLER TOLEDO memberikan akurasi pengukuran dengan tingkat keterulangan tinggi. Sensor UniCond dilengkapi dengan Intelligent Sensor Management (ISM). Sensor ISM menawarkan performa yang lebih baik dibandingkan probe analog karena sejumlah alasan, termasuk mikroprosesor on-board yang mengkonversi sinyal analog dari sensor menjadi pengukuran parameter aktual.
Pemancar METTLER TOLEDO M800 melengkapi sistem pengukuran. Ini adalah pemancar multiparameter, yang menawarkan fleksibilitas pemasangan dan pengukuran kontrol proses yang lebih sederhana. Pemancar ini dapat memantau satu, dua atau empat sensor in-line secara simultan.
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "Sensor Konduktivitas / Sensor Resistivitas")
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "Pemancar")
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "Probe pH / Probe ORP (Redoks) In-Line")