
- Vandkrav i mikroelektronikindustrien
En stor mængde vand forbruges i produktionen på et mikroelektronikanlæg og skal være fri for forurenende stoffer for at opfylde den præcise renhed, der kræves for maksimalt produktionsudbytte. Vandforsyningen skal fungere uden nedetid for at undgå afbrydelser i produktionsprocessen, hvilket kræver kontinuerlig online overvågning af vandkvaliteten.
TOC er en af de vigtigste parametre til at sikre vandkvaliteten i en sådan facilitet, da den kan skade det produkt, der fremstilles, og føre til betydelige tab. Hvor kritisk denne måling er, fremgår af de mange prøvepunkter under vandbehandlingsprocessen for TOC (figur 3) og de meget lave acceptable grænseværdier (tabel 1).











