Stroški netočnosti pri proizvajalcih polprevodnikov

Merjenje upornosti v ultrapure vodi

Proizvajalci polprevodnikov premikajo meje ultrapure vode. Ko se tolerance elementov zmanjšujejo, mora biti čistost vode višja, da se zaščitijo rezine. Zato mora analitika vode zaznati drobne spremembe v kakovosti, ki lahko vplivajo na končni izkoristek.

Upornost se meri skozi celoten postopek prečiščevanja vode in v nadaljnjih sistemih. Ker je ena ključnih analiz, je upornost meritev za odločitev, ali se voda sprosti v proizvodnjo ali ne. Če upornost pade, se lahko končni izkoristek rezin zmanjša. Zato obrati pogosto namesto pošiljanja nekakovostne vode naprej v sistem ustavijo dovod vode v proizvodnjo, da zaščitijo izkoristek. Tolerance pri upornosti so strožje kot kdaj koli prej, pri čemer se voda z 18,00 MΩ-cm šteje za mejo ionske čistosti. Toda zdaj se cilj v industriji pomika proti 18,18 MΩ-cm.

Natančni in stabilni senzorji upornosti so bistveni za dobro nadzorovane sisteme in zanesljive odločitve, ki temeljijo na podatkih. Senzor UPW UniCond™ je najsodobnejši senzor upornosti z neprimerljivo stabilnostjo in natančnostjo. V tem članku obravnavamo nekaj scenarijev, ki so pogosti v obratih za proizvodnjo polprevodnikov, ter pojasnjujemo, kako lahko UPW UniCond pomaga odpraviti težave.

V teh prvih dveh scenarijih ste lastnik vodnega sistema in želite zagotoviti, da ne pošiljate vode slabe kakovosti naprej po sistemu. Alarm za upornost je nastavljen na industrijski standard 18,00 MΩ-cm. Če je odčitek nad 18,00 MΩ-cm, sistem proizvaja vodo z zadostno ionsko čistostjo za zaščito izkoristka izdelkov.

tveganja ultrapure vode v polprevodnikih

Če odčitek pade pod 18,00 MΩ-cm, morate vodni sistem ustaviti, da preprečite izgubo izkoristka. Senzor upornosti, ki ga uporabljate, ima 1-odstotno specifikacijo natančnosti, kar je na trgu zelo pogosto, vendar je to dvakrat več kot pri UPW UniCond. Poglejmo, kako precej strožja specifikacija 0,5 % pri UPW UniCond zagotavlja boljšo zaščito pri preprečevanju dragih zaustavitev in še dražjih vplivov na izkoristek.

Scenarij 1: Lažen občutek varnosti

Predstavljajte si, da upornost kakovosti vode pade na 17,90 MΩ-cm, kar je zunaj tolerance. Pri specifikaciji natančnosti 1 % bi vaš senzor upornosti lahko prikazoval do 18,08 MΩ-cm, zaradi česar bi mislili, da vaš vodni sistem deluje normalno (glejte sliko 1).

Na žalost bi v tem scenariju nekakovostna voda neopaženo šla naprej v sistem. Če pa bi uporabljali UPW UniCond, nikoli ne bi poročali, da je voda z 17,90 MΩ-cm voda z 18,00 MΩ-cm. Strožja specifikacija natančnosti zmanjšuje tveganje za sistem in povečuje zaupanje, da voda izpolnjuje kakovostne zahteve.

Scenarij 2: Preprečite drage zaustavitve

Predpostavimo ponovno, da imate senzor upornosti s specifikacijo natančnosti 1 %. Senzor nenadoma začne kazati 17,96 MΩ-cm. Odločite se za zaustavitev vodnega sistema, da zaščitite izkoristek. Zaustavitev traja 24 ur, ker je potreben celovit pregled za analizo vodnega sistema in razumevanje temeljnega vzroka. Vsaka ura, ko sistem ne proizvaja vode, vaše podjetje stane 50.000 USD.

Po enem polnem dnevu preiskava ugotovi, da z vodnim sistemom ni bilo nobene težave. Kakovost vode je bila 18,15 MΩ-cm, vendar je bil odčitek upornosti 17,96 MΩ-cm—v okviru specifikacije senzorja upornosti—napačen (glejte sliko 2). Ta napačen odčitek in posledična zaustavitev sta vaše podjetje stala 1,2 milijona USD.

Če bi uporabili senzor UPW UniCond, bi se temu scenariju izognili. Z 0,5-odstotno specifikacijo natančnosti UPW UniCond ne bi prikazal vode 18,15 MΩ-cm kot izven tolerance. Skratka, UPW UniCond pomaga zaščititi vaš izkoristek in vodni sistem pred nepričakovanimi, dragimi zaustavitvami.

V tem scenariju si spet predstavljajte, da ste lastnik vodovodnega sistema. Opažate trend upornosti in poskušate ugotoviti, ali je prišlo do majhnega izpusta ionskega onesnaževala, ki je prešlo skozi postopke čiščenja.

Pri standardnih senzorjih upornosti je težko določiti razliko med šumom in drobnimi spremembami upornosti. Ker industrija stremi k zaznavanju vse manjših sprememb v kakovosti vode, se morajo temu ustrezno izboljšati tudi analitične metode.

Preizkusili smo konkurenčni senzor upornosti vzporedno s senzorjem UPW unicond v isti vodi. Rezultati so pokazali, da je bil UPW unicond desetkrat stabilnejši od konkurenčnega senzorja.

Nato smo neposredno v merilna vezja senzorja UPW unicond vnesli električni šum, da bi simulirali zahtevnejše razmere. To je povzročilo le nekoliko več nestabilnosti kot osnovno delovanje senzorja UPW unicond brez vnesenega šuma.

Kot lastnik vodnega sistema, kako bi morali razlagati odčitke upornosti? Bi ga morali brati kot 18,12 MΩ-cm ali 18,14 MΩ-cm? UPW UniCond v tem preskusu dosledno odčita 18,19 MΩ-cm, zato ni prostora za napako.

Ker so specifikacije za proizvodnjo polprevodnikov vse strožje, mora analizna oprema slediti temu tempu. Ker analitika nadzoruje izdelke v vrednosti več milijonov dolarjev, je treba upoštevati le najbolj zanesljivo analitiko.

Za več informacij o UPW UniCond obiščite spodnjo povezavo.

www.mt.com/UPWUniCond

Predlogi iskanja

Stroški netočnosti pri proizvajalcih polprevodnikov

Merjenje upornosti v ultrapure vodi

Scenarij 1: Lažen občutek varnosti

Scenarij 2: Preprečite drage zaustavitve

Scenarij 3: Hrupni odčitki

Če želite izvedeti več, preberite naslednje vire:

Senzorji prevodnosti pojasnjeni

Analytical Excellence for Semiconductor Manufacturing Brochure

Mikrobno štetje: Hitro zaznavanje mikroelektronske čistosti

Spremljanje silicija: natančnost pri delih na milijardo

Upornost: ključ do večjega izkoristka rezin in proizvodnje polprevodnikov brez onesnaženja

Predlogi iskanja

Stroški netočnosti pri proizvajalcih polprevodnikov

Merjenje upornosti v ultrapure vodi

Scenarij 1: Lažen občutek varnosti

Scenarij 2: Preprečite drage zaustavitve

Scenarij 3: Hrupni odčitki

Če želite izvedeti več, preberite naslednje vire:

Senzorji prevodnosti pojasnjeni

Analytical Excellence for Semiconductor Manufacturing Brochure

Mikrobno štetje: Hitro zaznavanje mikroelektronske čistosti

Spremljanje silicija: natančnost pri delih na milijardo

Upornost: ključ do večjega izkoristka rezin in proizvodnje polprevodnikov brez onesnaženja

Zahtevajte ponudbo ali informacijePridobite ponudboTakojšnja ponudbaInformacije o rešitviRequest Online Demo