Predlogi iskanja
  • fluoride iso standard
  • pipete
  • IND570
  • easyclean
  • prevodnost
Vse kategorije
  • Vse kategorije
  • Izdelki
  • Podpora
  • Znanje
  • Dogodki in spletni seminarji
  • Drugo
Filter
Aplikacijski uvodnik

TOC analiza v polprevodniškem sistemu ultra čiste vode

Aplikacijski uvodnik

Natančno, neprekinjeno spremljanje skupnega organskega ogljika je za proizvajalce mikroelektronike obvezno

TOC analiza v polprevodniškem sistemu ultra čiste vode
TOC analiza v polprevodniškem sistemu ultra čiste vode

Ta poročilo opisuje pomen natančne, sprotne TOC analize v sistemih ultra čiste vode za industrijo polprevodnikov. Ultra čista voda je najbolj požrešno in agresivno topilo, ki ga industrija mikroelektronike uporablja pri čiščenju in proizvodnji rezin. V preteklih štirih desetletjih je industrija elektronike eksponentno povečevala število vezij, ki so vtisnjena na silikonske čipe. Povečanje števila vezij je znatno zmanjšalo širino vodov, povečalo pa je zahteve za natančnost in sprotno merjenje skupnega organskega ogljika v ultra čisti vodi.

Procesi proizvodnje polprevodnikov imajo ene najstrožjih specifikacij za ionsko in organsko onesnaženje v sistemih čiste in ultra čiste vode. Merjenje skupnega organskega ogljika v vodi polprevodnikov je proizvajalcem omogočilo, da izboljšajo kakovost izdelkov in povečajo donose. Napredki v tehnologiji prečiščevanja vode in inovacije na področju instrumentov za spremljanje teh kontaminantov so igrali bistveno vlogo pri izboljševanju ter merjenju kakovosti ultra čiste vode. Po drugi strani pa so ti napredki povzročili tudi znižanje specifikacij za vse ravni kontaminantov v sistemih UPW.

Analiza skupnega organskega ogljika/TOC v polprevodniškem sistemu ultra čiste vode je učinkovita metoda za spremljanje organskih onesnaževalcev v ultra čisti vodi in za »zdravje« sistemov ultra čiste vode, ki se uporabljajo v industriji mikroelektronike. Organske snovi predstavljajo vir hrane za katero koli bakterijo, ki je morda prisotna v distribucijskem sistemu, rezervoarjih in v procesni tehnologiji ali modulih za obdelavo. Natančno, hitro in priročno merjenje ravni organskih snovi v sistemu ultra čiste vode lahko prihrani več milijonov dolarjev, saj prepreči proizvodnjo neustreznih izdelkov.

Senzor 6000TOCi in oddajnik M800 zagotavljata zmogljivost, potrebno za izpolnjevanje teh zahtev, hkrati pa ponujata dodatne prednosti neprekinjenega linijskega merjenja v industrijskem paketu, ki zahteva le malo vzdrževanja in vsebuje preizkušeno večparametrsko tehnologijo. Senzor 6000TOCi je neposredno povezan z oddajnikom M800, ki zagotavlja zmogljivost merjenja dodatnih parametrov. Senzor 6000TOCi z oddajnikom M800 je opremljen s sistemom Intelligent Sensor Management (ISM®) podjetja METTLER TOLEDO. Napredna diagnostika ISM pomaga zagotoviti optimalno delovanje senzorja v vsakem trenutku.

Več o senzorju 6000TOCi in oddajniku M800 ter o tem, kako ga je mogoče uporabiti za analizo skupnega organskega ogljika v sistemu ultra čiste vode preberite v poročilu ali spodaj:

  • Senzor 6000TOCi – visoko zmogljiv senzor za merjenje skupnega organskega ogljika, ki lahko s sprotnim merjenjem in stabilno natančno analizo spremlja skupni organski ogljik v polprevodniški vodi. Učinkovit senzor s preverljivo zmogljivostjo sistema.
  • Oddajnik M800 – večparametrski oddajnik, ki lahko poleg senzorja skupnega organskega ogljika sprejme še tri analitične senzorje, vključno s senzorji prevodnosti, pH, ORP ali raztopljenega kisika[SST1], plus senzorje tlaka, ravni napolnjenosti ali dva senzorja pretoka.
  • Intelligent Sensor Management (ISM) – tehnologija digitalnih senzorjev, ki zagotavlja predvidljivo vzdrževanje, preprosto upravljanje s senzorji in učinkovito proizvodnjo.