환경 영향 및 지속 가능성
반도체 산업은 점점 더 물 발자국 감소에 집중하고 있습니다. 여러 지역의 법률은 최대 90%에 이를 수 있는 높은 수준의 물 재사용과 재활용을 의무 화하고 있습니다. 불화수소산을 중화하고 암모니아를 안전한 배출로 전환하는 등 폐기물의 효과적인 분리와 처리는 이 과정에서 매우 중요한 단계입니다.
- 저항률 과 총 유기탄소(TOC) 는 UPW 품질 모니터링에 필수적입니다. 예를 들어, 저항률은 25°C에서 18.18메가옴/센티미터 이하여야 하며, TOC 수준은 1ppb 이하로 유지해야 합니다.
- 용존 산소(DO) 는 오염 방지에 매우 중요합니다. 손턴의 광학 DO 센서는 긴 수명을 자랑하며 최소한의 유지보수가 필요해 용존 산소 농도를 낮게 유지하는 데 이상적입니다.
- pH 와 전도도 는 특히 불화수소산이나 암모니아와 같은 유해 화학물질을 다룰 때 폐기물 중화 과정에서 핵심입니다. 적절한 pH 센서 를 사용하면 안전한 폐기와 환경 규제 준수가 보장됩니다.
- 온라인 미생물 모니터링 은 초순수 내 미생물 오염을 지속적으로 측정할 수 있게 합니다. 이로 인해 UPW가 마이크로일렉트로닉스 제조에 요구되는 엄격한 순도 기준을 충족하도록 시정 조치가 가능합니다.
