ウェビナー: 品質とコストの管理

半導体製造におけるGood Weighing Practice™の活用方法

化学機械研磨(CMP)は半導体製造において重要なステップです。スラリープロセスでの高精度の計量結果はウェハーの品質に影響を与え、次世代チップの開発に必要なトランジスタの小型化に役立ちます。

このオンデマンドウェビナーでは、ウェハーの製造における高精度計量の重要性を解説し、メーカーが自社の仕様に最も適した計量ソリューションを選択するためにリスクベースのアプローチをどのように活用できるのかを重点的に説明します。

説明の内容:

  • チップメーカーがGWPアプローチを使用してスラリーのプロセスを改善した方法
  • GWPが目的に適した計量ソリューションの選定をサポートする方法
  • 適切な機器とサービスでサービスコストを最適化する方法

ケーススタディ: 高精度スケールを使用したCMPスラリー製造