 |
Salah satu produsen semikonduktor terbesar di Asia menghadapi kesulitan yang terkait dengan pengukuran oksigen terlarut. Mereka menggunakan sistem yang mahal, yang membutuhkan jangka waktu tiga hingga empat hari setelah tindakan pemeliharaan untuk mendapatkan hasil bacaan DO yang cukup stabil untuk digunakan.
Pihak perusahaan mengevaluasi sensor DO optik dan pemancar M800 dari METTLER TOLEDO Thornton sebagai solusi untuk pengukuran oksigen terlarut dalam sistem air ultramurni.
Pengukuran oksigen terlarut telah menjadi prioritas utama di fasilitas produksi semikonduktor ini. Ekspektasi mereka cukup tinggi terhadap tingkat kecepatan respons, tingkat deteksi yang rendah, dan pengurangan tindakan pemeliharaan. METTLER TOLEDO mampu memenuhi dan melampaui ekspektasi mereka dengan suatu solusi yang terdiri dari sensor DO optik dan pemancar M800. Sensor DO dengan teknologi optik tidak memerlukan polarisasi, sehingga ketersediaan sistem pengukuran sangatlah tinggi. Pemancar M800 menghadirkan kemampuan multisaluran dan multiparameter, yang memungkinkan pengukuran DO untuk dipasangkan dengan pengukuran parameter lainnya.
Unduh studi kasus untuk membaca rincian selengkapnya, termasuk topik-topik berikut ini:
- Mengapa perlu dilakukannya pengukuran oksigen terlarut dalam produksi semikonduktor?
- Keunggulan dari segi presisi dan respons
- Penghematan jangka panjang dengan pengukuran optik
Oksigen terlarut diukur setelah degasifikasi air ultramurni (UPW) untuk memastikan adanya eliminasi oksigen dari air. Mengurangi kadar oksigen terlarut bisa mempertahankan konduktivitas air yang rendah, yang sangat penting untuk langkah proses selanjutnya, terutama elektrodeionisasi secara berkelanjutan. Konsentrasi oksigen terlarut dalam air di titik penggunaan (POU) selama pemrosesan wafer dipertahankan pada tingkat kurang dari 5 ppb, demi mencegah hilangnya kendali ketebalan oksida gerbang. Tingkat oksigen terlarut yang lebih tinggi di POU bisa mengakibatkan pengetsaan yang tidak diharapkan oleh air beroksigen, menyebabkan kegagalan dan hasil produksi yang rendah – dengan biaya kerugian finansial yang besar.
