Le cycle de l'eau dans la fabrication des semi-conducteurs commence par l'acheminement de l'eau brute (1) vers l'usine, où elle subit les étapes de prétraitement (2), d'ajustement et de polissage (3). Une fois polie, l'eau ultra-pure (UPW) est distribuée à l'usine de fabrication (4 - Fab), où elle est utilisée dans plusieurs outils et processus, tels que le nettoyage, la gravure et la planarisation chimico-mécanique (CMP). Après utilisation, l'eau est souvent récupérée (5) pour être recyclée dans le circuit UPW, utilisée dans d'autres applications telles que les chaudières et les épurateurs (11), ou traitée comme un déchet (6) en fonction de son niveau de contamination.
Les contaminants organiques présents dans l'eau ultra-pure sont généralement surveillés dans les usines de fabrication de semi-conducteurs. La spectrophotométrie UV/Vis permet de détecter les composés organiques en mesurant leur absorbance à des longueurs d'onde spécifiques, garantissant ainsi que l'eau répond aux normes de haute pureté.
L'industrie des semi-conducteurs s'efforce de plus en plus de réduire son empreinte hydrique. La législation de diverses régions impose des niveaux élevés de réutilisation et de récupération de l'eau, souvent jusqu'à 90 %. La séparation et le traitement efficaces des flux de déchets, tels que la neutralisation de l'acide fluorhydrique et la conversion de l'ammoniac pour un rejet sans danger, sont des étapes cruciales de ce processus.
Une gestion efficace du cycle de l'eau dans la fabrication des semi-conducteurs ne consiste pas seulement à garantir la meilleure qualité possible d'eau ultra-pure (UPW), mais aussi à assumer sa responsabilité environnementale. En utilisant une technologie avancée de capteurs et en respectant des protocoles rigoureux de surveillance et de maintenance, les usines de semi-conducteurs peuvent optimiser leur consommation d'eau, garantir le respect des normes réglementaires et contribuer à la durabilité environnementale.
METTLER TOLEDO Thornton propose une gamme complète de capteurs et d'analyseurs, notamment pour le pH, la conductivité, la résistivité, le COT, l'oxygène dissous, la détection microbienne et la silice. Ces instruments sont indispensables pour maintenir une eau ultra-pure (UPW) de la plus haute qualité. La technologie Intelligent Sensor Management (ISM) offre des diagnostics prédictifs, un étalonnage adaptatif et des alertes de maintenance, améliorant ainsi l'efficacité opérationnelle et réduisant les temps d'arrêt.
Les analyses d'eau hors ligne effectuées ponctuellement permettent de vérifier la précision du système de surveillance en ligne, avec des applications pour les instruments de paillasse tels que la densité, l'indice de réfraction, le pH, la conductivité, les ions et l'oxygène dissous (OD), le titrage et les mesures UV/Vis.
Nous comprenons que la précision et la fiabilité sont essentielles dans votre travail, et nos solutions sont conçues pour vous accompagner à chaque étape. Notre équipe s'engage à assurer le bon fonctionnement de vos équipements afin que vous puissiez vous concentrer sur ce qui compte le plus : obtenir des résultats révolutionnaires. Travaillons ensemble pour améliorer vos efforts et stimuler l'innovation dans le domaine des semi-conducteurs.
