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Da die Aufsichtsbehörden immer mehr Wert auf Nachhaltigkeit legen, stehen Halbleiterfabriken unter wachsendem Druck, die Qualität zu verbessern und die Wassermenge in den Abwasserströmen zu verringern. Als wichtigster Indikator für die Wasserqualität ist die genaue Messung des spezifischen Widerstands von entscheidender Bedeutung.
Die RCA-Reinigung wird zwischen den einzelnen Schritten der Waferproduktion eingesetzt. Dabei werden drei oder vier Reinigungsbäder verwendet, die jeweils von einer Reinstwasserspülung (UPW) gefolgt werden, um Chemikalien, Rückstände und Partikel vor dem nächsten Produktionsschritt zu entfernen.
Typische heute erhältliche Widerstandssensoren bieten eine Messgenauigkeit von +/- 1%. Dieses Maß an Unsicherheit mag für einige Prozesse akzeptabel sein, aber es hilft den Halbleiterfabriken nicht, ihre Anforderungen für die Produktion von Technologien der nächsten Generation zu erfüllen. Um diese neuen Anforderungen zu erfüllen, hat METTLER TOLEDO Thornton den UPW UniCond™-Widerstandssensorentwickelt - den einzigen verfügbaren Widerstandssensor, der eine Genauigkeit von ≥0,5% bei einer temperaturkompensierten Widerstandsmessung erreicht.
Möchten Sie wirklich sicher sein, dass nur das reinste Wasser an die Verwendungsstellen gelangt? Mettler Toledo Thornton hat die Antwort. Wenn die Anzahl der Chips pro Wafer steigt und die Leiterbahnbreiten geringer werden, verbessert die Fähigkeit, Spuren ionischer Verunreinigungen zu erfassen, Ihre Wafer-Ausbeute und -Qualität erheblich. Die große Frage ist jedoch: Können Ihre Resistivitäts-Sensoren mithalten? Resistivitätsmessung liefert eine kumulative Messung von Ionen und wird häufig als primäres Mittel zur Erkennung von Verunreinigungstrends verwendet; daher ist diese Messung entscheidend, um die Reinheit des Wassers sicherzustellen. Durch enge Zusammenarbeit mit Industriepartnern hat Mettler Toledo Thornton den UPW Unicont entwickelt. Fortschrittliche Entwicklungen bei Genauigkeit, Signalstabilität und Umgebungsisolierung machen den UPW Unicont zum einzigen Resistivitäts-Sensor , der in der Lage ist, den sich wandelnden Herausforderungen der Halbleiterindustrie gerecht zu werden. Mit UPW Unicon können Sie sicher sein, dass Ihr Wasser rein genug ist, um die Ausbeuteziele zu erreichen. Und da die Signalstabilität von UPW Unicon es ermöglicht, tatsächliche Veränderungen in Ihrem Wasser von Störungen zu unterscheiden, können Sie unnötige Maßnahmen vermeiden, wenn das Wasser noch den Spezifikationen entspricht. Jetzt können Sie zyklische Veränderungen der Resistivitätswerte aufgrund täglicher oder saisonaler Änderungen der Umgebungs- und Prozesstemperaturen eliminieren. Seien Sie mit der unerreichten Genauigkeit des Mettler Toledo UPW Unicont für die Zukunft gerüstet. Weitere Informationen finden Sie unter www.mt.com slash UPW Unicont.
Bei der RCA-Reinigung hilft diese Verbesserung der Messgenauigkeit den Anwendern:
- Erhöhung der Waferausbeute durch Verschärfung der Spezifikationen für die Qualität des Eingangswassers, ohne dass die Aktionswerte in den Fehlerbereich des Sensors fallen.
- Schnellere Entscheidungen über das Verhältnis von Spülung und Widerstand, um den Durchsatz zu verbessern.
- Sie können früher entscheiden, wohin die Abfallströme umgeleitet werden sollen, indem Sie das Wasser für die Rückgewinnung/Wiederverwendung maximieren und das Wasser, das in die Kanalisation geleitet wird, minimieren.
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