De watercyclus in de productie van halfgeleiders begint met het aanvoeren van ruw water (1) naar de installatie, waar het voorbehandeling (2), behandeling van suppletiewater en polijsten (3) ondergaat. Nadat het UPW is gepolijst, wordt het gedistribueerd naar de productiefabriek (4 – Fab), waar het wordt gebruikt in verschillende instrumenten en processen, zoals reiniging, etsen en chemische mechanische planarisatie (CMP). Na gebruik wordt het water vaak teruggewonnen (5) voor recycling in de UPW-kringloop, gebruikt in andere toepassingen zoals ketels en scrubbers (11) of behandeld als afval (6) op basis van de verontreinigingsniveaus.
Organische verontreinigingen in ultrapuur water worden vaak gecontroleerd in halfgeleiderfabrieken. UV/VIS spectrofotometrie kan organische verbindingen detecteren door hun absorptie bij specifieke golflengtes te meten, zodat het water aan de hoogste zuiverheidsnormen voldoet.
pH- en conductiviteitsmetingen zijn belangrijke parameters die van invloed zijn op het succes van de neerslagstap in de behandeling van afvalwater. Een van de technieken voor het analyseren van de concentratie van zware metalen is het meten van de absorptie van specifieke metaalionencomplexen bij een geschikte golflengte. Het beheersen van de concentratieniveaus van zware metalen zorgt ervoor dat afvalwaterbehandelingsprocessen effectief zijn en voldoen aan de milieuvoorschriften.
De halfgeleiderindustrie richt zich steeds meer op het verkleinen van de watervoetafdruk. De wetgeving in verschillende regio's schrijft een hoog niveau van hergebruik en terugwinning van water voor, vaak tot 90%. Effectieve scheiding en behandeling van afvalstromen, zoals het neutraliseren van fluorwaterstofzuur en het omzetten van ammoniak voor veilige afvoer, zijn kritieke stappen in dit proces.
Effectief watercyclusbeheer in de productie van halfgeleiders draait niet alleen om het garanderen van de hoogste kwaliteit van UPW, maar ook om het aanhouden van milieuverantwoordelijkheid. Door gebruik te maken van geavanceerde sensortechnologie en strikte monitoring- en onderhoudsprotocollen te volgen, kunnen halfgeleiderfabrieken hun watergebruik optimaliseren, de naleving van wettelijke normen garanderen en bijdragen aan milieuduurzaamheid.
METTLER TOLEDO Thornton biedt een uitgebreid assortiment sensoren en analysers, waaronder pH, conductiviteit en weerstand, TOC-, opgeloste zuurstof-, microbiële detectie- en silicasensoren. Deze instrumenten zijn van essentieel belang voor het handhaven van UPW van de hoogste kwaliteit. Intelligent Sensor Management (ISM)-technologie biedt voorspellende diagnostiek, adaptieve kalibratie en onderhoudswaarschuwingen, wat de operationele efficiëntie verbetert en de downtime reduceert.
Tijdig uitgevoerde off-line wateranalyses helpen de nauwkeurigheid van het online controlesysteem te verifiëren, met toepassingen voor tafelmodel instrumenten zoals dichtheid, brekingsindex, pH, conductiviteit, ionen en opgeloste zuurstof (DO), titratieen UV/VIS-metingen.
Wij begrijpen dat precisie en betrouwbaarheid essentieel zijn in uw werk en onze oplossingen zijn ontworpen om u bij elke stap te ondersteunen. Ons team zet zich in om uw apparatuur soepel te laten werken, zodat u zich kunt concentreren op wat het belangrijkst is en baanbrekende resultaten kunt behalen. Laten we samenwerken om uw inspanningen te verbeteren en innovatie op het gebied van halfgeleiders te stimuleren.
