Der Wasserkreislauf in der Halbleiterfertigung beginnt damit, dass Rohwasser (1) in die Anlage geleitet wird, wo es eine Vorbehandlung (2), eine Aufbereitung und eine Reinigung (3) durchläuft. Nach der Reinigung wird das UPW an die Fertigungsanlage (4 – Fab) weitergeleitet, wo es in verschiedenen Anlagen und Prozessen wie Reinigung, Ätzen und chemisch-mechanischer Planarisierung (CMP) verwendet wird. Nach der Verwendung wird das Wasser häufig aufbereitet (5) und im UPW-Kreislauf wiederverwendet, in anderen Anwendungen wie Kesseln und Gaswäschern (11) eingesetzt oder je nach Verschmutzungsgrad als Abfall (6) entsorgt.
Organische Schadstoffe in ultrareinem Wasser werden häufig in Halbleiterfabriken überwacht. UV/Vis-Spektrophotometrie kann organische Verbindungen erkennen, indem sie deren Absorption bei bestimmten Wellenlängen misst, wodurch sichergestellt wird, dass das Wasser hohe Reinheitsstandards erfüllt.
pH- und Leitfähigkeitsmessungen sind sind Schlüsselparameter, die den Erfolg des Fällungsschritts in der Abwasserbehandlung beeinflussen. Eine der Methoden zur Analyse der Schwermetallkonzentration besteht darin, die Extinktion bestimmter Metallionenkomplexe bei einer geeigneten Wellenlänge zu messen. Durch die Kontrolle der Schwermetallkonzentrationen wird sichergestellt, dass die Abwasserbehandlungsverfahren wirksam sind und den Umweltvorschriften entsprechen.
Die Halbleiterindustrie konzentriert sich zunehmend darauf, ihren Wasser-Fußabdruck zu verringern. In verschiedenen Regionen schreiben gesetzliche Vorschriften einen hohen Anteil an Wasserwiederverwendung und -aufbereitung vor, bis zu 90 %. Die effektive Trennung und Aufbereitung von Abfallströmen, wie beispielsweise die Neutralisierung von Flusssäure und die Umwandlung von Ammoniak zur sicheren Ableitung, sind entscheidende Schritte in diesem Prozess.
Ein effektives Wasserkreislaufmanagement in der Halbleiterfertigung bedeutet nicht nur, die höchste Qualität von UPW sicherzustellen, sondern auch die Aufrechterhaltung der Umweltverantwortung. Durch den Einsatz fortschrittlicher Sensortechnologie und die Einhaltung rigoroser Überwachungs- und Wartungsprotokolle können Halbleiteranlagen ihren Wasserverbrauch optimieren, die Einhaltung gesetzlicher Standards sicherstellen und zur ökologischen Nachhaltigkeit beitragen.
METTLER TOLEDO Thornton bietet ein umfassendes Portfolio an Sensoren und Analysatoren, darunter pH-, Leitfähigkeits-, Widerstands-, TOC-Sensoren, gelösten Sauerstoff, mikrobielle Detektion und Silizium-Sensoren. Diese Instrumente sind entscheidend für die Aufrechterhaltung höchster UPW-Qualität. Die Technologie des intelligenten Sensormanagements (ISM) bietet prädiktive Diagnostik, adaptive Kalibrierung und Wartungsalarme, verbessert die Betriebseffizienz und reduziert Ausfallzeiten.
Regelmäßig durchgeführte Offline-Wasseranalysen tragen dazu bei, die Genauigkeit des Online-Überwachungssystems zu überprüfen. Dabei kommen Tischgeräte zum Einsatz, die Messungen wie Dichte, Brechungsindex, pH-Wert, Leitfähigkeit, Ionen und gelösten Sauerstoff (DO), Titration und UV/Vis-Messungen durchführen.
Wir wissen, dass Präzision und Zuverlässigkeit für Ihre Arbeit von entscheidender Bedeutung sind, und unsere Lösungen sind darauf ausgelegt, Sie bei jedem Schritt zu unterstützen. Unser Team setzt sich dafür ein, dass Ihre Anlagen reibungslos laufen, damit Sie sich auf das Wesentliche konzentrieren können – nämlich bahnbrechende Ergebnisse zu erzielen. Lassen Sie uns gemeinsam daran arbeiten, Ihre Bemühungen zu optimieren und Innovationen im Halbleiterbereich voranzutreiben.
