環境影響與永續性
半導體產業越來越專注於降低水足跡。各地 立法規定水資源的再利用與回收程度高，常高達90%。有效的分離與廢棄物流處理，如中和氫氟酸及將氨轉化為安全排放，是此過程中的關鍵步驟。
- 溶解氧（DO） 對於防止污染至關重要。Thornton 的光學 DO 感測器壽命長且維護需求低，非常適合維持低溶解氧濃度。
- 線上微生物監測 能持續測量超純水中的微生物污染情況。這使得修正措施能夠確保UPW符合微電子製造中嚴格的純度標準。
半導體製造中的水循環管理優化
確保半導體超純水的先進解決方案
半導體製造中的水循環
半導體製造中的水循環始於將原水（1）送至工廠，經過預處理（2）、補水及拋光（3）階段。拋光完成後，UPW 會被分發至製造廠（4 - Fab），用於多種工具與製程，如清洗、蝕刻及化學機械平面化（CMP）。使用後，水常被回收（5）用於UPW循環回收，或用於鍋爐和洗滌器（11），或根據污染程度作為廢棄物處理（6）。
水循環管理的關鍵線上參數
先進感測器技術
半導體製造中的有效水循環管理不僅是確保UPW的最高品質，更是維持環境責任。透過採用先進的感測器技術並遵守嚴格的監控與維護規範，半導體設施能 優化用水，確保符合法規標準，並促進環境永續發展。
METTLER TOLEDO THORNTON 提供完整的感測器與分析儀組合，包括pH值、電導率、電阻率、TOC、溶解氧、微生物檢測及矽質感測器。這些儀器對於維持最高品質UPW至關重要。 智慧感測器管理 （ISM）技術提供預測診斷、自適應校正及維護警示，提升營運效率並減少停機時間。
離線水質分析準時進行，有助於驗證線上監測系統的準確性，應用於桌面儀器如 密度、折射率、 pH、電導率、離子與溶解氧（DO）、 滴定及 紫外線/可見度測量。
半導體超純水管理工具
透過METTLER TOLEDO服務提升您的半導體製程
我們理解精確與可靠性對您的工作至關重要，我們的解決方案也設計來支持您每一步。我們的團隊致力於讓您的設備順暢運作，讓您能專注於最重要的事——達成突破性的成果。讓我們攜手提升您的努力，推動半導體領域的創新。
閱讀更多相關主題
