 |
Önemli bir yarı iletken imalatçısı mevcut cihazların performansını aşacak bir özdirenç sensörüne ihtiyaç duyuyordu. METTLER TOLEDO Thornton ile özdirenç ölçüm yeni bir standart belirleyen bir sensör üzerinde çalıştı.
İmalatın iyileştirilmiş üretim verimine olan talebi bir direnç ölçüm stabilite ve mevcut endüstri standartları çok ötesinde bir doğruluk seviyesine ihtiyaç duyardı. Bir çözüm bulmak için METTLER TOLEDO ile ortaklık kuruldu.
Sonuç olarak UPW UniCond(TM), daha önce mevcut olanlardan çok daha iyi sıcaklık telafisi, sinyal kararlılığı ve çevresel izolasyona sahip bir sensör oldu.
Yüksek başarılı test sonuçlarına dayanarak imalatçı UPW UniCond'ı yeni özdirenç ölçüm çözümü olarak kabul etti ve tüm global tesislerinin yeni fabrikaları yükseltirken veya tasarlarken yeni sensör kullandığını belirtti.
Bu örnek uygulamada imalatçı tarafından gerçekleştirilen testler ve sonuçlar incelemektedir.
Yarı iletken hat genişlikleri daralmaya devam ettikçe, UPW kalitesini iyileştirme ihtiyacı yalnızca yüksek wafer verimini korumak için artacaktır.
Çoğu direnç sensörü +/- %1'lik ölçüm doğruluk sunar. Şu anda SEMI F63 tarafından ayarlanan işlem düzeyleri bu hata aralığındadır. Bu belirsizlik seviyesi bazı prosesler için kabul edilebilir, ancak yarı iletkenlerin yeni nesil teknolojilerin üretimi için ihtiyaçlarını karşılamalarına yardımcı olmaz. UPW UniCond sıcaklık telafili bir özdirenç ölçüm %05 doğruluk ≥ ulaşabilen mevcut tek direnç sensör.
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "İletkenlik Sensörü/Dirençlilik Sensörü")
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "Transmitterler")