Mikroelektronik endüstrisinde ultra saf su izleme
White Paper

Mikroelektronik Endüstrisinde Ultra Saf Su İzleme

White Paper

UPW Dirençlilik ve TOC Ölçümü ile

Yarı İletken Endüstrisi için Ultra Saf Su ve Proses Analitiği
Yarı İletken Endüstrisi için Ultra Saf Su ve Proses Analitiği

Yarı iletken sektörü, levha başına daha fazla çip ve tek basamaklı nanometre aralığında daha dar hat genişlikleri için taleplerin artması ile birlikte hızla gelişmektedir. Bu zorlukların üstesinden gelmek için levha verimini olumsuz şekilde etkileyebilecek iyonik safsızlıkları tespit etmek amacıyla ultra saf su (UPW) izleme ve kontrol uygulamaları uygulanmalıdır. Toplam organik karbon (TOC) ve dirençlilik, su saflığı sağlamak için on-line ve gerçek zamanlı olarak izlenmesi gereken iki kritik parametredir. UPW sistemlerinde alt ppb düzeylerinde bu parametrelerin doğru şekilde ölçülebilmesi, yarı iletken üreticilerinin ürün kalitesini artırabilmesini ve verimi maksimuma çıkarabilmesini sağlar.

6000TOCi ve M800, mikroelektronik endüstrisine sürekli on-line ölçüm ihtiyaçlarını karşılayan ve UPW sistemleri için gerekli proses kontrolünü sağlayan en gelişmiş aracı sunmaktadır. METTLER TOLEDO TOC sistemi en hızlı yanıt, gelişmiş entegre tanılama ve alt ppb düzeylerinde tespit etme özellikleri ile ölçüm noktası başına olan maliyeti en aza indirmektedir.

UniCond sensörü, 6000TOCi ve M800 transmitter, mikroelektronik endüstrisi için riski azaltmak ve verimi artırmak için yapılabilecek en iyi yatırımlardır.

Bu teknik dokümanda aşağıdaki konular ele alınmaktadır:

  • On-line dirençlilik ve TOC analizinin önemi
  • Yarı iletken üretiminde ultra saf su
  • Gerçek zamanlı, sürekli dirençlilik ve TOC izleme

METTLER TOLEDO'nun mikroelektronik endüstrisine yönelik ideal ürün çözümleri; 6000TOCi sensörü, UniCond sensörü ve M800 transmitterlerdir.

6000TOCi, gerçek zamanlı veri ve öngörüye dayalı tanılama sağlayan on-line bir TOC sensörüdür. Sensör her saniye ölçüm yaparak su sistemi üzerinde sürekli olarak TOC analizi yapılmasını sağlar. 6000TOCi, tüm saf su uygulamaları için idealdir; bu uygulamalarda, TOC düzeyindeki değişikliklerin hızlıca tespit edilmesi kritik öneme sahiptir. Sensör, kapsamlı geçmiş ve temel istatistik kaydı sağlar.

METTLER TOLEDO'nun UniCond sensörü, yüksek ölçüde tekrarlanabilir ölçüm doğruluğu sunar. UniCond sensörü, Akıllı Sensör Yönetimi (ISM) teknolojisi ile donatılmıştır. ISM sensörleri, sensörden alınan analog sinyali parametrenin gerçek ölçümüne dönüştüren yerleşik bir mikro işlemci dahil olmak üzere, birçok açıdan analog problara göre daha gelişmiş performans sunar.

METTLER TOLEDO M800 transmitter, ölçüm sistemini tamamlar. Bu ürün, kurulum esnekliği ve basitleştirilmiş proses kontrolü ölçümleri sunan, çok parametreli bir transmitterdir. Aynı anda bir, iki veya dört in-line sensörü izleyebilir.