 |
Bu uygulama notunda, yarı iletken UPW'sinde güvenilir ve gerçek zamanlı TOC analizinin önemi araştırılmaktadır. Ultra saf su, mikro elektronik endüstrisi tarafından levhaların temizliği ve üretiminde en çok kullanılan çözücüdür. Geçtiğimiz son 40 yıl içinde elektronik endüstrisi, silikon çiplerin üzerine oyulan devre sayısını katlayarak artırmıştır. Devre sayılarındaki artış, çizgi kalınlıklarını önemli ölçüde azaltmış ve bunun neticesinde UPW'deki TOC'un doğru ve sürekli ölçümüne yönelik ihtiyacın büyük oranda artmasına sebep olmuştur.
Yarı iletken üretim prosesleri, saf ve ultra saf su sistemlerinde iyonik ve organik kirlilik açısından en katı spesifikasyonlardan bir kısmını içerir. Yarı iletken suyunda TOC ölçümü, üreticileri ürün kalitesini artırmasını ve verimi en üst düzeye çıkarmasını sağlamıştır. Su arıtma teknolojisindeki gelişmeler ve bu yabancı maddelerin izlenmesine yönelik enstrümantasyondaki yenilikler, ultra saf suyun kalitesinin iyileştirilmesi ve ölçülmesinde önemli rol oynamıştır. Bu gelişmeler, sonuç olarak UPW sistemlerindeki tüm yabancı madde seviyelerine ilişkin spesifikasyonları daha aşağı çekmiştir.
Yarı iletken UPW'sinde toplam organik karbon/TOC analizi, ultra saf sudaki organik yabancı maddelerin ve mikro elektronik endüstrisinde kullanılan UPW sistemlerinin "durum"unun izlenmesi için güçlü bir metottur. Organik maddeler; dağıtım sisteminde, depolama tanklarında ve proses teknolojisi veya şartlandırma modüllerinde bulunabilecek bakteriler için besin kaynağını oluşturur. UPW sistemindeki organik maddelerin doğru, hızlı ve pratik ölçümü, ürün kaybını önleyerek milyonlarca dolar tasarruf sağlayabilir.
6000TOCi sensörü ve M800 transmitter'i, bu gerekliliklerin karşılanması için ihtiyaç duyulan performansı sağlarken aynı zamanda kanıtlanmış çok parametreli teknolojiye dayanan düşük maliyetli, endüstriyel bir paket içinde sürekli on-line ölçümün getirdiği ek avantajları da sunar. 6000TOCi sensörü, ek ölçüm parametresi özellikleri sağlayan M800 transmitter'i ile doğrudan ilişkilendirilir. M800 transmitter'ine sahip 6000TOCi sensörü, METTLER TOLEDO'nun Akıllı Sensör Yönetimi (ISM) sistemiyle donatılmıştır. ISM gelişmiş diyagnostiği, sensörünüzün daima en üst düzeyde performans göstermesine yardımcı olur.
Uygulama notunu okuyarak ve aşağıdaki sayfayı ziyaret ederek 6000TOCi sensörü ve M800 transmitter'i ile cihazın UPW'de TOC analizi için nasıl kullanılabileceği hakkında daha fazla bilgi edinin:
- 6000TOCi Sensörü – Gerçek zamanlı ölçüm ile kararlı ve doğru analiz sayesinde yarı iletken suyunun TOC değerini izleyebilen yüksek performanslı toplam organik karbon sensörü. Doğrulanabilir sistem performansına sahip su verimli sensör.
- M800 Transmitter'i – TOC'ye ek olarak aralarında iletkenlik, pH, ORP veya çözünmüş oksijen[SST1] sensörlerinin bulunduğu üç ilave analitik sensör ve ayrıca basınç, depo seviyesi ya da iki adet debi sensörü takılabilen çok parametreli transmitter.
- Akıllı Sensör Yönetimi (ISM) – Öngörülebilir bakım, kolay sensör kullanımı ve verimli üretim sağlayan dijital sensör teknolojisi.
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "Transmitterler")
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "In-Line pH Probu / ORP (Redoks) Probu")
