 |
Asya'nın en büyük yarı iletken üreticilerinden biri, çözünmüş oksijen ölçümleri ile zorlu zamanlar geçiriyordu. Bakımdan sonra çözünmüş oksijen değerlerinin yeterli ölçüde kararlı olabilmesi için üç veya dört gün geçmesini gerektiren, pahalı bir sistem kullanıyorlardı.
Şirket, ultra saf su sistemlerinde çözünmüş oksijen ölçümüne yönelik çözüm olarak METTLER TOLEDO Thornton'un optik çözünmüş oksijen sensörünü ve M800 transmitterini değerlendirmiştir.
Çözünmüş oksijen ölçümü, bu yarı iletken üretim tesisinde önemli bir öncelik olmuştur. Çok yüksek yanıt hızı, düşük saptama düzeyleri ve daha az bakım gibi koşullar aramaları nedeniyle beklentileri yüksek olmuştur. METTLER TOLEDO, optik çözünmüş oksijen sensörü ve M800 transmitter içeren bir çözümle yalnızca beklentilerini karşılamakla kalmamış, bunların da ötesine geçmiştir. Optik teknolojisine sahip çözünmüş oksijen sensörleri polarizasyon gerektirmez; böylece ölçüm sistemi oldukça yüksek oranda kullanılabilir. M800 transmitter, çözünmüş oksijen ölçümünün diğer parametrelerin ölçümü ile eşleştirilebilmesini sağlayan çok kanallı, çok parametreli özellikler sunar.
Aşağıdaki konular da dahil tüm ayrıntıları okumak için örnek olayı indirin:
- Yarı iletken üretim tesisinde neden çözünmüş oksijen ölçümü yapılır?
- Hassasiyet ve yanıt avantajları
- Optik ölçümlerle uzun vadeli tasarruf
Çözünmüş oksijen, sudaki oksijenin giderildiğini doğrulamak üzere ultra saf suyun (UPW) gazdan arındırılmasının ardından ölçülür. Çözünmüş oksijeni azaltmak, suyun düşük iletkenlik özelliğini korur. Bu da, özellikle devam eden elektrodeiyonizasyon olmak üzere sonraki arıtma adımları için çok önemlidir. Wafer işleme sırasında kullanım noktası (POU) suyundaki çözünmüş oksijen konsantrasyonları, geçit oksidi kalınlığının kontrolünün kaybedilmemesi için 5 ppb'den düşük düzeylerde korunur. POU'daki çözünmüş oksijen düzeyinin daha yüksek olması, suyun oksijenlenmesi nedeniyle beklenmeyen dağlamaya yol açabilir; bu da, daha büyük bir maliyet doğuran arızalara ve düşük verime neden olabilir.
