
- Zahteve glede vode v industriji mikroelektronike
V proizvodnji v obratu za mikroelektroniko se porabi ogromna količina vode, ki mora biti brez onesnaževal, da izpolnjuje natančno zahtevano čistost za največji proizvodni izplen. Oskrba z vodo mora delovati brez kakršnih koli izpadov, da se preprečijo prekinitve proizvodnega procesa, kar zahteva neprekinjeno spletno spremljanje kakovosti vode.
TOC je eden ključnih parametrov za zagotavljanje kakovosti vode v takšnem obratu, saj lahko povzroči poškodbe izdelka v proizvodnji in vodi do znatnih izgub. Ključni pomen te meritve je razviden iz več vzorčnih mest med postopkom obdelave vode za TOC (slika 3) in zelo nizkih dovoljenih mejnih vrednosti (tabela 1).











