 |
As regulators place ever greater emphasis on sustainability, semi fabs are under growing pressure to increase the quality and decrease the quantity of water in waste streams. As the primary indicator of water quality, accurate resistivity measurement is crucial.
RCA cleaning is used between each step of wafer production and utilizes three or four cleaning baths, each followed by an ultrapure water (UPW) rinse to remove chemicals, residues, and particles before the next production step.
Typical resistivity sensors available today offer measurement accuracy of +/- 1%. This level of uncertainty may be acceptable for some processes, but it does not help semi fabs meet their needs for the production of next-generation technologies. To address these evolving requirements, METTLER TOLEDO Thornton has developed the UPW UniCond™ resistivity sensor - the only available resistivity sensor capable of achieving ≥0.5% accuracy on a temperature-compensated resistivity measurement.
هل تريد أن تكون متأكدًا حقًا من أن أنقى مياه فقط هي التي تصل إلى نقاط الاستخدام؟ لدى Mettler Toledo Thornton الإجابة. مع ازدياد عدد الشرائح في كل رقاقة وازدياد ضيق عرض الخطوط، ستؤدي القدرة على رصد الشوائب الأيونية الدقيقة إلى تحسين إنتاجية الرقائق وجودتها بشكل كبير. لكن السؤال المهم هو: هل تستطيع حساسات المقاومية لديك مواكبة ذلك؟ توفّر قياس المقاومية قياسًا تراكميًا للأيونات، وغالبًا ما يُستخدم كوسيلة رئيسية لاكتشاف اتجاهات الشوائب، لذا فإن هذا القياس بالغ الأهمية لضمان نقاء المياه. ومن خلال التعاون الوثيق مع شركاء الصناعة، طورت Mettler Toledo Thornton جهاز UPW Unicont. إن التطورات المتقدمة في الدقة وثبات الإشارة والعزل البيئي تجعل من UPW Unicont حساس المقاومية الوحيد القادر على تلبية التحديات المتطورة لصناعة أشباه الموصلات. مع UPW Unicon، يمكنك أن تكون واثقًا من أن مياهك نقية بما يكفي لتحقيق أهداف الإنتاجية. ولأن ثبات إشارة UPW Unicon يتيح التمييز بين التغيرات الحقيقية في مياهك والضوضاء، يمكنك تجنب اتخاذ إجراءات غير ضرورية عندما تكون المياه لا تزال ضمن المواصفات. والآن يمكنك التخلص من التغيرات الدورية في قراءات المقاومية الناتجة عن التغيرات اليومية أو الموسمية في درجات حرارة البيئة وعمليات التشغيل. كن مستعدًا للمستقبل مع الدقة الفائقة لجهاز Mettler Toledo UPW Unicont. لمعرفة المزيد، تفضل بزيارة www.mt.com forward slash UPW Unicont.
For RCA cleaning, this improvement in measurement accuracy will help users:
- Increase wafer yield by tightening incoming water quality specifications without action levels falling within the error of the sensor.
- Confidently make faster decisions on rinse-to-resistivity to improve throughput.
- Make earlier determinations on where to divert waste streams, maximizing water for reclaim/reuse, and minimizing water sent to discharge.
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "In-Line pH Probe / ORP (Redox) Probe")
.png/_jcr_content/renditions/cq5dam.web.1280.1280.png "Transmitters")