準確且穩定的 resistivity sensors 對於受良好控制的系統與可靠、以數據為基礎的決策至關重要。UPW UniCond™ 感測器是一款最先進的 resistivity sensor，具備無可比擬的穩定性與準確度。本文將探討幾個在 semiconductor manufacturing 設施中常見的情境，以及 UPW UniCond 如何協助解決這些問題。
在前兩個情境中，您是一位水系統擁有者，希望確保不會將品質不佳的水輸送到下游。 您的電阻率警報設定為業界標準 18.00 MΩ-cm。若讀值高於 18.00 MΩ-cm，表示系統所生產的水具有足以保護產品良率的離子純度。
如果讀值降到 18.00 MΩ-cm 以下，您就需要關閉供水系統，以避免良率損失。您使用的 resistivity sensor 規格精度為 1%，這在市場上相當常見，但卻是 UPW UniCond 的兩倍。讓我們看看 UPW UniCond 嚴格得多的 0.5% 規格，如何在防止昂貴的停機，以及對良率造成更高成本的影響方面，提供更大的保護。
假設水質電阻率降至 17.90 MΩ-cm，已超出公差範圍。若精度規格為 1%，您的電阻率感測器可能會讀到高達 18.08 MΩ-cm，讓您誤以為水系統運作正常（見圖 1）。
不幸的是，在這種情況下，品質不佳的水會在未被偵測到的情況下送往下游。然而，如果您使用的是 UPW UniCond，您絕不會把 17.90 MΩ-cm 的水報告為 18.00 MΩ-cm 的水。更嚴格的精度規格可降低系統風險，並提高水符合品質要求的信心。
假設您再次使用一個精度規格為 1% 的 resistivity sensor。該感測器突然開始讀取 17.96 MΩ-cm。您決定關閉供水系統，以保護良率。由於需要進行完整調查來分析水系統並了解根本原因，停機持續了 24 小時。系統每小時無法產水，便使公司損失 50,000 美元。
經過整整一天後，調查結論是水系統並沒有問題。水質為 18.15 MΩ-cm，但 resistivity sensor 在 17.96 MΩ-cm 的讀值——仍在規格範圍內——其實是錯誤的（見圖 2）。這個錯誤讀值以及隨之而來的停機，使公司損失了 120 萬美元。
如果您使用的是 UPW UniCond 感測器，這種情況就可以避免。憑藉 0.5% 的精度規格，UPW UniCond 不會把 18.15 MΩ-cm 的水顯示為超出容差。簡而言之，UPW UniCond 有助於保護您的良率與水系統，避免意外且代價高昂的停機。
在這個情境中，請再次想像你是供水系統的擁有者。你正在查看電阻率的趨勢，並試圖判斷是否有少量離子污染物釋放，且已通過淨化步驟。
使用標準電阻率感測器時，很難分辨雜訊與電阻率的微小變化。隨著產業持續追求偵測越來越微小的水質變化，分析能力也需要相應提升。
我們將一款競品電阻率感測器與 UPW unicond 在相同水樣中進行並排測試。結果顯示，UPW unicond 的穩定性比競品感測器高出十倍。
接著，我們將電性雜訊直接注入 UPW unicond 的測量電路，以模擬更嚴苛的條件。結果只比未注入雜訊時的 UPW unicond 基線表現略為不穩定。
作為水系統擁有者，您應該如何解讀這些電阻率讀值？應該讀成 18.12 MΩ-cm 還是 18.14 MΩ-cm？在這項測試中，UPW UniCond 一致讀取 18.19 MΩ-cm，毫無誤差空間。
隨著 semiconductor fabrication 的規格要求愈來愈嚴格，分析技術也必須跟上腳步。由於這些分析技術監測的是價值數百萬美元的產品，因此只有最可靠的分析技術才應納入考量。
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